[发明专利]一种VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统

权利要求书

1.一种VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统，其特征在于，包括：

承载盘，所述承载盘的中心设有承载区，所述承载区用于放置晶圆，所述承载盘的外缘设有朝上伸出的环状凸起，所述承载盘与所述晶圆的底面电连通；

所述承载盘的底面还设有三维驱动机构；

面板，所述面板设在所述承载盘上方；

驱动卡，所述驱动卡可上下浮动地设在所述面板的底面，所述驱动卡的正面设有驱动模块，反面设有导电层，所述驱动模块的负极与所述导电层电连通；

所述承载盘上升后所述环状凸起接触到所述驱动卡反面的所述导电层，所述导电层与所述承载盘实现电连通；

所述驱动卡的顶面开设有探针窗口；

探针座，所述探针座设在所述面板的正面，所述探针座的末端设有探针，所述探针座用于调节所述探针穿过所述探针窗口，并指向所述承载区；

所述探针通过软排线与所述驱动模块的正极电连通。

2.根据权利要求1所述的VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统，其特征在于，

所述驱动卡的顶面还开设有相机识别窗口；

所述面板上还设有相机，所述相机用于透过所述相机识别窗口对所述承载区上的晶圆进行摄录。

3.根据权利要求1所述的VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统，其特征在于，

所述驱动模块内设有多个并联驱动回路。

4.根据权利要求1所述的VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统，其特征在于，

所述环状凸起的顶面为平面或异形曲面。

5.根据权利要求1所述的VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统，其特征在于，

所述驱动卡的顶面与所述面板的底面通过单个或多个弹性体进行连接。

6.根据权利要求5所述的VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统，其特征在于，

多个所述弹性体对称的分布所述驱动卡的顶面与所述面板的底面之间；

所述弹性体为弹簧导向柱、弹簧片、橡胶柱或气囊。

7.根据权利要求1所述的VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统，其特征在于，所述导电层为镀金层，所述承载盘的表面也设有镀金层。

8.根据权利要求1所述的VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统，其特征在于，

所述探针座包括三维手动滑台和探针安装座，所述探针安装座用于夹持所述探针且设在所述三维手动滑台的尾端；

所述三维手动滑台用于调节探针安装座在横向、纵向和竖向的位置。

9.根据权利要求8所述的VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统，其特征在于，

所述探针安装座设有自适应调节机构，所述自适应调节机构能够自动调节所述探针的接触力。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的VCSEL晶圆级别短脉冲测试系统，其特征在于，所述探针的末端与所述承载区的垂直距离大于所述导电层与所述环状凸起顶面之间的垂直距离。