[发明专利]一种晶圆倒圆台形的凸点金属的制备方法在审
| 申请号： | 202310176682.0 | 申请日： | 2023-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN116190508A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 白伟伟;李燚雷;汝雪亮 | 申请（专利权）人： | 绍兴君万微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/62 |
| 代理公司： | 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 | 代理人： | 陈彩霞 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市柯桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种晶圆倒圆台形的凸点金属的制备方法，属于光刻机技术领域；该方法包括：对晶圆进行预处理，得到预处理后晶圆；对预处理后晶圆进行光刻和镀金属，得到含凸点金属晶圆；对含凸点金属晶圆进行光刻和金属刻蚀，得到含倒圆台形的凸点金属的晶圆。本发明可以制备形貌一致、高低统一、底部小的凸点金属形貌，提高了在后续倒装互连过程的容错能力，解决在贴合过程由于凸点金属受力挤压后，导致像素之前短路的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆倒 圆台 金属 制备 方法 | ||
【主权项】：
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