[发明专利]一种制造掺杂钛元素制备N型磷化铟衬底设备及生产方法在审
| 申请号： | 202310174050.0 | 申请日： | 2023-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN116175350A | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 潘功寰;李存;顾正伟 | 申请（专利权）人： | 苏州中砥半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B19/22 | 分类号： | B24B19/22;B24B41/00;B24B41/02 |
| 代理公司： | 常州市科佑新创专利代理有限公司 32672 | 代理人： | 胥建中 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种制造掺杂钛元素制备N型磷化铟衬底设备，包括：打磨设备，设置在所述打磨设备内部一侧的夹取臂，设置在所述打磨设备内部另一侧的驱动电机，设置在所述驱动电机底端的打磨台，设置在所述打磨台底端的支撑台，且所述打磨台与所述支撑台相互不接触；所述打磨台内部的底端设置有凹槽，所述凹槽的内部固定连接有调节部；所述打磨台与所述支撑台之间设置有供料部，且所述供料部在所述打磨设备上呈转动连接设计；打磨设备在使用时，可以通过供料部将磷化铟衬底输送至打磨台与支撑台之间，在输送的过程中，供料部被压缩，进而供料部上的磷化铟衬底能够与调节部的底端面相接触，使得达到清理磷化铟衬底表面的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制造 掺杂 元素 制备 磷化 衬底 设备 生产 方法 | ||
【主权项】：
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