[发明专利]一种制造掺杂钛元素制备N型磷化铟衬底设备及生产方法

权利要求书

1.一种制造掺杂钛元素制备N型磷化铟衬底设备，其特征在于，包括：打磨设备（1），设置在所述打磨设备（1）顶端一侧的打磨台（4），设置在所述打磨台（4）底端的支撑台（5），且所述打磨台（4）与所述支撑台（5）相互不接触；

所述打磨台（4）内部的底端设置有凹槽（41），所述凹槽（41）的内部固定连接有调节部（7）；

所述打磨台（4）与所述支撑台（5）之间设置有供料部（6），且所述供料部（6）在所述打磨设备（1）上呈转动连接设计；其中

驱动所述供料部（6），所述供料部（6）能够在所述打磨台（4）与所述支撑台（5）之间旋转，所述调节部（7）能够压缩所述供料部（6），以使所述调节部（7）能够刮式磷化铟衬底；

反向驱动所述供料部（6），所述调节部（7）能够抬起所述供料部（6），以使磷化铟衬底能够掉落至所述支撑台（5）的内部。

2.如权利要求1所述的一种制造掺杂钛元素制备N型磷化铟衬底设备，其特征在于，

所述打磨设备（1）内部的一侧设置有夹取臂（11），所述打磨设备（1）内部的另一侧设置有驱动电机（12）；其中

所述夹取臂（11）适于夹取磷化铟衬底。

3.如权利要求2所述的一种制造掺杂钛元素制备N型磷化铟衬底设备，其特征在于，

所述供料部（6）包括设置在所述打磨台（4）与所述支撑台（5）之间的供料台（61），贯穿在所述供料台（61）中间位置处的驱动轴（611），等间距环形开设在所述供料台（61）边缘位置处的若干个磷化铟衬底槽（612），以及设置在若干个所述磷化铟衬底槽（612）内部的磷化铟衬底架（62）；其中

驱动所述驱动轴（611），所述供料台（61）能够在所述打磨设备（1）上旋转，以使磷化铟衬底能够输送至所述打磨台（4）打磨。

4.如权利要求3所述的一种制造掺杂钛元素制备N型磷化铟衬底设备，其特征在于，

所述供料部（6）还包括开设在所述磷化铟衬底架（62）一侧的升降槽（63），贯穿在所述升降槽（63）内部顶端的升降杆（631），缠绕在所述升降杆（631）外表面的伸缩弹簧（633），且所述伸缩弹簧（633）与所述升降槽（63）内壁的顶端固定连接；

所述升降槽（63）的内部转动连接有转动杆（632）；其中

驱动所述供料台（61），所述调节部（7）能够压缩所述升降杆（631），以使所述调节部（7）能够刮式磷化铟衬底；

反向驱动所述供料台（61），所述调节部（7）能够抬起所述升降杆（631），以使磷化铟衬底能够掉落至所述支撑台（5）的内部。

5.如权利要求4所述的一种制造掺杂钛元素制备N型磷化铟衬底设备，其特征在于，

所述升降杆（631）的横截面呈T型设计；其中

所述调节部（7）适于压缩或抬升所述升降杆（631）。

6.如权利要求5所述的一种制造掺杂钛元素制备N型磷化铟衬底设备，其特征在于，

所述调节部（7）包括固定连接在所述凹槽（41）内部的调节板（71），开设在所述调节板（71）内部的弧形槽（711）；其中

所述弧形槽（711）的横截面大于所述升降杆（631）底端的横截面，所述弧形槽（711）的横截面小于所述升降杆（631）顶端的横截面。

7.如权利要求6所述的一种制造掺杂钛元素制备N型磷化铟衬底设备，其特征在于，

所述弧形槽（711）与所述供料台（61）之间呈同心设计。

8.如权利要求7所述的一种制造掺杂钛元素制备N型磷化铟衬底设备，其特征在于，

所述调节部（7）还包括设置在所述调节板（71）一侧的第一斜面（72），设置在所述调节板（71）另一侧的第二斜面（73）；其中

驱动所述供料台（61），所述升降杆（631）能够与所述第一斜面（72）相抵触，以使所述调节板（71）能够刮式磷化铟衬底；

反向驱动所述供料台（61），所述升降杆（631）能够与所述第二斜面（73）相抵触，以使磷化铟衬底能够掉落至所述支撑台（5）的内部。