[发明专利]一种翻转式晶圆花篮

摘要

本发明公开了一种翻转式晶圆花篮，涉及到晶圆加工技术领域，包括花篮，还包括手动翻面单元，所述手动翻面单元包括其上转动设有往返丝杆的安装架、与所述花篮中部外壁转动连接的U形杆以及安装在所述往返丝杆上并固定嵌入在U形板上的滑块螺母，所述U形板滑动套设在限位杆上，所述U形板通过轴承转动设置有驱动齿轮，且所述驱动齿轮通过其内环壁设置有滑块滑动套设在往返丝杆上，所述U形杆的右端固定有安装杆，且所述安装杆的端部上固定有与所述驱动齿轮啮合连接的从动齿轮。通过在花篮上设置手动翻面单元，一次操作即可实现全部晶圆的翻面，方便快捷且效率高，实现硅片无人工接触式的翻转，解决有现有技术中存在的问题。