[发明专利]一种翻转式晶圆花篮

权利要求书

1.一种翻转式晶圆花篮，包括花篮（1），其特征在于：还包括用于带动所述花篮（1）同时进行纵向运动和旋转运动的手动翻面单元；

所述手动翻面单元包括其上转动设有往返丝杆（6）的安装架（2）、与所述花篮（1）中部外壁转动连接的U形杆（3）以及安装在所述往返丝杆（6）上并固定嵌入在U形板（7）上的滑块螺母（12），所述U形板（7）滑动套设在限位杆（16）上，所述U形板（7）通过轴承（11）转动设置有驱动齿轮（9），且所述驱动齿轮（9）通过其内环壁设置有滑块（91）滑动套设在往返丝杆（6）上，所述往返丝杆（6）上设有与所述滑块（91）相适配的滑槽（61），所述U形杆（3）的右端固定有安装杆（4），且所述安装杆（4）的端部上固定有与所述驱动齿轮（9）啮合连接的从动齿轮（8），所述从动齿轮（8）通过轴承（11）与所述U形板（7）转动连接，所述往返丝杆（6）被安装在所述安装架（2）上的手摇盘组件（5）驱动；

所述安装架（2）包括U形支板（21）和安装在所述U形支板（21）上的U形安装板（22），所述U形支板（21）的下端与所述花篮（1）的支撑底端齐平。

2.根据权利要求2所述的一种翻转式晶圆花篮，其特征在于：还包括花篮倾斜单元（13），所述花篮倾斜单元（13）包括下端与所述花篮（1）活动连接的活动杆（131）、位于所述安装杆（4）的开口腔（14）内并与所述安装杆（4）同轴心设置的横杆（134）以及安装在所述U形板（7）上的导向块（132），所述活动杆（131）的上端位于所述开口腔（14）内并与所述横杆（134）的一端固定连接，所述横杆（134）滑动贯穿固定设置在所述开口腔（14）内的挡板（133），所述横杆（134）的外壁上设置有限位块（135），且所述限位块（135）的端部滑动设置有所述开口腔（14）内部上设有的安装槽内，所述横杆（134）上套设有复位弹簧（137），且所述复位弹簧（137）位于所述限位块（135）和所述挡板（133）之间的，所述横杆（134）的上端固定有与所述导向块（132）外壁接触的接触杆（136）；

所述导向块（132）包括两个规格相同且相互衔接的弧形块，两个所述弧形块上均依次设置有向外导向斜面（17）、快速向内导向斜面（18）和恢复原位导向斜面（19），所述向外导向斜面（17）的左端与所述恢复原位导向斜面（19）的右端高度齐平，所述快速向内导向斜面（18）的最下端位于所述向外导向斜面（17）左端水平面的下方。

3.根据权利要求1或2所述的一种翻转式晶圆花篮，其特征在于：所述手摇盘组件（5）包括固定安装在所述往返丝杆（6）上的蜗轮（53）和转动设置在所述安装架（2）上并与所述蜗轮（53）啮合连接的蜗杆（52），所述蜗杆（52）的端部上安装有手摇盘（51）。

4.根据权利要求1或2所述的一种翻转式晶圆花篮，其特征在于：所述U形支板（21）和所述U形安装板（22）之间设置有加强杆（10）。

5.根据权利要求1或2所述的一种翻转式晶圆花篮，其特征在于：所述U形支板（21）的两支撑杆体上均设置有手握杆（15）。

6.根据权利要求1或2所述的一种翻转式晶圆花篮，其特征在于：所述花篮（1）内腔两侧壁上均呈上至下且等间距设置有若干个弧形卡条（101），相邻两所述弧形卡条（101）之间设有卡槽，位于最上方所述弧形卡条（101）的上端与所述花篮（1）顶板之间的距离与位于最下方所述弧形卡条（101）的下端与所述花篮（1）底板之间的距离相等，所述顶板与所述底板规格相同。

7.根据权利要求1所述的一种翻转式晶圆花篮，其特征在于：所述花篮（1）和所述手动翻面单元均采用304不锈钢材料制成。