[发明专利]移相器及其制备方法在审
| 申请号： | 202310142935.2 | 申请日： | 2023-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN115995661A | 公开（公告）日： | 2023-04-21 |
| 发明（设计）人： | 赵建昀;郭景文;李春昕;吴倩红;刘建兴;曹子博;曲峰;李必奇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01P1/18 | 分类号： | H01P1/18;H01P11/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 齐峰;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种移相器及其制备方法。移相器包括：衬底；设置在衬底上的第一地线、第二地线、波导传输线，第一地线和第二地线分别位于波导传输线的两侧；绝缘层，位于波导传输线远离衬底一侧的表面上；膜桥，位于绝缘层远离衬底的一侧，膜桥与波导传输线之间具有空腔；膜桥的一端通过第一锚点与第一地线连接，膜桥的另一端通过第二锚点与第二地线连接；其中，第一锚点和第二锚点被配置为能够沿垂直于衬底的方向压缩和复位，以带动膜桥运动。 | ||
| 搜索关键词： | 移相器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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