[发明专利]移相器及其制备方法

权利要求书

1.一种移相器，其特征在于，包括：

衬底；

设置在所述衬底上的第一地线、第二地线、波导传输线，所述第一地线和所述第二地线分别位于所述波导传输线的两侧；

绝缘层，位于所述波导传输线远离所述衬底一侧的表面上；

膜桥，位于所述绝缘层远离所述衬底的一侧，所述膜桥与所述波导传输线之间具有空腔；膜桥的一端通过第一锚点与所述第一地线连接，膜桥的另一端通过第二锚点与所述第二地线连接；

其中，所述第一锚点和所述第二锚点被配置为能够沿垂直于所述衬底的方向压缩和复位，以带动所述膜桥运动。

2.根据权利要求1所述的移相器，其特征在于，所述第一锚点包括多个悬臂梁，所述第一锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，沿远离所述衬底的方向形成第一弹簧结构；

所述第二锚点包括多个悬臂梁，所述第二锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，沿远离所述衬底的方向形成第二弹簧结构。

3.根据权利要求2所述的移相器，其特征在于，所述第一弹簧结构包括多层螺旋，每层螺旋包括多个所述悬臂梁，不同层螺旋的多个所述悬臂梁在所述衬底上的正投影相互重合；

所述第二弹簧结构包括多层螺旋，每层螺旋包括多个所述悬臂梁，不同层螺旋的多个所述悬臂梁在所述衬底上的正投影相互重合。

4.根据权利要求3所述的移相器，其特征在于，所述第一弹簧结构包括沿远离所述衬底方向的第一层螺旋和第二层螺旋，所述第一层螺旋包括多个所述悬臂梁，所述第二层螺旋包括单个所述悬臂梁；

所述第二弹簧结构包括沿远离所述衬底方向的第一层螺旋和第二层螺旋，所述第一层螺旋包括多个所述悬臂梁，所述第二层螺旋包括单个所述悬臂梁。

5.根据权利要求2所述的移相器，其特征在于，所述第一弹簧结构包括多层螺旋，每层螺旋包括多个所述悬臂梁，不同层螺旋的多个所述悬臂梁在所述衬底上的正投影不存在交叠；

所述第二弹簧结构包括多层螺旋，每层螺旋包括多个所述悬臂梁，不同层螺旋的多个所述悬臂梁在所述衬底上的正投影不存在交叠。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的移相器，其特征在于，所述第一弹簧结构的旋转方向和所述第二弹簧结构的旋转方向相反。

7.根据权利要求2所述的移相器，其特征在于，所述第一锚点包括第一子锚点和第二子锚点，所述第一子锚点和所述第二子锚点沿所述第一地线的延伸方向排列；所述第一子锚点包括多个悬臂梁，所述第一子锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，沿远离所述衬底的方向形成第一子弹簧结构；所述第二子锚点包括多个悬臂梁，所述第二子锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，沿远离所述衬底的方向形成第二子弹簧结构；

所述第二锚点包括第三子锚点和第四子锚点，所述第三子锚点和所述第四子锚点沿所述第二地线的延伸方向排列；所述第三子锚点包括多个悬臂梁，所述第三子锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，沿远离所述衬底的方向形成第三子弹簧结构；所述第四子锚点包括多个悬臂梁，所述第四子锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，沿远离所述衬底的方向形成第四子弹簧结构。

8.根据权利要求7所述的移相器，其特征在于，所述第一子锚点和所述第三子锚点位于所述膜桥的同一侧，所述第一子弹簧结构的旋转方向和所述第三子弹簧结构的旋转方向相反；

所述第二子锚点和所述第四子锚点位于所述膜桥的同一侧，所述第二子弹簧结构的旋转方向和所述第四子弹簧结构的旋转方向相反。

9.根据权利要求8所述的移相器，其特征在于，所述第一子弹簧结构和所述第三子弹簧结构沿第一中心线呈轴对称，所述第二子弹簧结构和所述第四子弹簧结构沿所述第一中心线呈轴对称；所述第一中心线为所述膜桥在垂直于自身延伸方向上的中心线。