[发明专利]移相器及其制备方法

说明书

一种移相器及其制备方法。移相器包括：衬底；设置在衬底上的第一地线、第二地线、波导传输线，第一地线和第二地线分别位于波导传输线的两侧；绝缘层，位于波导传输线远离衬底一侧的表面上；膜桥，位于绝缘层远离衬底的一侧，膜桥与波导传输线之间具有空腔；膜桥的一端通过第一锚点与第一地线连接，膜桥的另一端通过第二锚点与第二地线连接；其中，第一锚点和第二锚点被配置为能够沿垂直于衬底的方向压缩和复位，以带动膜桥运动。

技术领域

本公开实施例涉及移相器，尤其涉及一种移相器及其制备方法。

背景技术

移相器是一种能够对波的相位进行调整的装置，在雷达、导弹姿态控制、加速器、通信、仪器仪表等领域有着广泛的应用。随着微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystem，MEMS)技术的发展，促进了射频微机电(Radio Frequency Micro-Electro-Mechanical System，RF MEMS)移相器的发展，RF MEMS移相器具有高线性度、高品质因数和几乎没有直流功耗等诸多优点。MEMS移相器可分为电容式和电阻式等几种类型。

移相度是衡量移相器好坏的一个重要指标。经本申请发明人研究发现，电容式MEMS移相器的移相度不足。

发明内容

本公开实施例提供一种移相器及其制备方法，能够解决电容式MEMS移相器移相度不足的问题。

第一方面，本公开实施例提供一种移相器，包括：衬底；设置在所述衬底上的第一地线、第二地线、波导传输线，所述第一地线和所述第二地线分别位于所述波导传输线的两侧；绝缘层，位于所述波导传输线远离所述衬底一侧的表面上；膜桥，位于所述绝缘层远离所述衬底的一侧，所述膜桥与所述波导传输线之间具有空腔；膜桥的一端通过第一锚点与所述第一地线连接，膜桥的另一端通过第二锚点与所述第二地线连接；其中，所述第一锚点和所述第二锚点被配置为能够沿垂直于所述衬底的方向压缩和复位，以带动所述膜桥运动。

一示例性实施例中，所述第一锚点包括多个悬臂梁，所述第一锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，沿远离所述衬底的方向形成第一弹簧结构；所述第二锚点包括多个悬臂梁，所述第二锚点的多个悬臂梁按照逆时针方向或顺时针方向首尾连接，沿远离所述衬底的方向形成第二弹簧结构。

一示例性实施例中，所述第一弹簧结构包括多层螺旋，每层螺旋包括多个所述悬臂梁，不同层螺旋的多个所述悬臂梁在所述衬底上的正投影相互重合；所述第二弹簧结构包括多层螺旋，每层螺旋包括多个所述悬臂梁，不同层螺旋的多个所述悬臂梁在所述衬底上的正投影相互重合。

一示例性实施例中，所述第一弹簧结构包括沿远离所述衬底方向的第一层螺旋和第二层螺旋，所述第一层螺旋包括多个所述悬臂梁，所述第二层螺旋包括单个所述悬臂梁；所述第二弹簧结构包括沿远离所述衬底方向的第一层螺旋和第二层螺旋，所述第一层螺旋包括多个所述悬臂梁，所述第二层螺旋包括单个所述悬臂梁。

一示例性实施例中，所述第一弹簧结构包括多层螺旋，每层螺旋包括多个所述悬臂梁，不同层螺旋的多个所述悬臂梁在所述衬底上的正投影不存在交叠；所述第二弹簧结构包括多层螺旋，每层螺旋包括多个所述悬臂梁，不同层螺旋的多个所述悬臂梁在所述衬底上的正投影不存在交叠。

一示例性实施例中，所述第一弹簧结构的旋转方向和所述第二弹簧结构的旋转方向相反。