[发明专利]一种真空镀膜机的蒸发装置在审
| 申请号： | 202310124435.6 | 申请日： | 2023-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN116288174A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘同林;汪秀义 | 申请（专利权）人： | 铜陵市超越电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 余贵龙 |
| 地址： | 244000 安徽省铜陵市狮子山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空镀膜技术领域，具体的说是一种真空镀膜机的蒸发装置，包括基板，料盘组件，设置于基板上方，所述料盘组件包括壳体、蒸发盘和坩埚，蒸发盘转动连接于蒸发盘内部，多组坩埚均匀设置在蒸发盘内；电子枪结构，设置于基板侧壁，通电时形成电子击打通道，发出电子束轰击坩埚内的原料。本发明设置有驱动组件、龙门组件和闸门，在连续镀膜蒸发盘转动时，闸门能够有效隔绝电子击打通道，保证蒸发盘不受损伤，而随着坩埚逐渐接近电子枪结构，驱动组件驱动龙门组件将闸门提升起，闸门被抬起，电子击打通道畅通，电子束被释放对坩埚内的材料进行击打，避免了电子束对蒸发盘造成损伤，同时无需反复的对电子束进行通电和断电操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
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