[发明专利]一种真空镀膜机的蒸发装置

权利要求书

1.一种真空镀膜机的蒸发装置，包括基板(110)，其特征在于：

料盘组件，设置于基板(110)上方，所述料盘组件包括壳体(130)、蒸发盘(140)和坩埚(150)，蒸发盘(140)转动连接于蒸发盘(140)内部，多组坩埚(150)均匀设置在蒸发盘(140)内；

电子枪结构(120)，设置于基板(110)侧壁，通电时形成电子击打通道，发出电子束轰击坩埚(150)内的原料；

闸门(240)，设置于坩埚(150)和电子枪结构(120)之间，用于隔绝电子击打通道；

驱动组件，连接在蒸发盘(140)上方，驱动组件在坩埚(150)停止转动时驱动闸门(240)升起，打开电子击打通道。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的蒸发装置，其特征在于：所述驱动组件包括与蒸发盘(140)同步转动的上连接杆(210)和拨动杆(220)，拨动杆(220)连接在上连接杆(210)上方；

所述闸门(240)上方设置有龙门组件，所述龙门组件包括连接于基板(110)侧壁上方的龙门架(230)，且龙门架(230)上方滑动连接有连接块(260)，所述龙门架(230)内部贯穿有连接于闸门(240)和连接块(260)的链条(250)。

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机的蒸发装置，其特征在于：所述拨动杆(220)由内圆板和多组外拨杆组成，外拨杆的数量匹配于坩埚(150)的数量，均匀分布在内圆板外壁。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的蒸发装置，其特征在于：所述闸门(240)侧壁连接有侧凸条(241)，且电子枪结构(120)侧壁开设有供侧凸条(241)插设的滑动槽。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的蒸发装置，其特征在于：所述闸门(240)材质设置为石墨，以隔绝电子束。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的蒸发装置，其特征在于：所述蒸发盘(140)下方设置有转动机构，且转动机构包括连接于蒸发盘(140)底端的下连接杆(310)，所述下连接杆(310)底端连接有叶片(320)，所述叶片(320)由四组内凹边和外凸边组成，内凹边和外凸边交错分布，四组所述外凸边皆开设有限位槽(330)，所述基板(110)顶端轴承连接有底板(340)，且底板(340)顶部连接有凸块(360)。

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机的蒸发装置，其特征在于：所述底板(340)顶部连接有限位盘(350)，且限位盘(350)外弧度匹配于叶片(320)的内凹边，所述限位盘(350)正对凸块(360)的一侧开设有圆弧形凹槽所述凸块(360)的直径小于限位槽(330)的宽度大小。

8.根据权利要求6所述的一种真空镀膜机的蒸发装置，其特征在于：所述凸块(360)的直径小于限位槽(330)的宽度大小。