[发明专利]一种真空镀膜机的蒸发装置

说明书

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体的说是一种真空镀膜机的蒸发装置，包括基板，料盘组件，设置于基板上方，所述料盘组件包括壳体、蒸发盘和坩埚，蒸发盘转动连接于蒸发盘内部，多组坩埚均匀设置在蒸发盘内；电子枪结构，设置于基板侧壁，通电时形成电子击打通道，发出电子束轰击坩埚内的原料。本发明设置有驱动组件、龙门组件和闸门，在连续镀膜蒸发盘转动时，闸门能够有效隔绝电子击打通道，保证蒸发盘不受损伤，而随着坩埚逐渐接近电子枪结构，驱动组件驱动龙门组件将闸门提升起，闸门被抬起，电子击打通道畅通，电子束被释放对坩埚内的材料进行击打，避免了电子束对蒸发盘造成损伤，同时无需反复的对电子束进行通电和断电操作。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体的说是一种真空镀膜机的蒸发装置。

背景技术

真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，而蒸发装置是使材料蒸发的设备。

现有的蒸发装置：由坩埚、电子枪结构组成，将外部的导线介入电子枪结构内，通电后电子束直接打入坩埚内，从而将坩埚内的材料迅速蒸发。

现有的蒸发装置应对连续镀膜时：由于部分工件需要多层镀膜，例如望远镜镜片、汽车仪表盘玻璃等，电子束需有序的对不同的材料进行蒸发，而为了迎合该需求，如公告号为CN216585179U的一种真空蒸镀机的坩埚系统，设置有能够旋转的蒸发盘，从而快速更换不同的置料坩埚。

但是其还存在一些不足之处，由于蒸发盘本身的材质无法承受电子束的击打，当转动蒸发盘更换置料坩埚时会出现下列情况：

(1)、工人在转动蒸发盘前需进行断电，转动蒸发盘更换坩埚后再次通电，但频繁的通电和断电增加操作步骤影响镀膜效率，且内部温度不稳定影响镀膜效果；

(2)、工人不进行断电直接转动蒸发盘，电子束击打在蒸发盘表面，工人需定期更换新的蒸发盘，增加生产成本，且蒸发盘表面蒸发会产生新的蒸发颗粒，造成镀膜后薄膜表面不纯净。

因此需要一种能够在连续镀膜时不断电且不会损坏蒸发盘的真空镀膜机的蒸发装置来解决上述的问题。

发明内容

本发明提供如下技术方案：一种真空镀膜机的蒸发装置，包括基板，料盘组件，设置于基板上方，所述料盘组件包括壳体、蒸发盘和坩埚，蒸发盘转动连接于蒸发盘内部，多组坩埚均匀设置在蒸发盘内；

电子枪结构，设置于基板侧壁，通电时形成电子击打通道，发出电子束轰击坩埚内的原料；

闸门，设置于坩埚和电子枪结构之间，用于隔绝电子击打通道；

龙门组件，设置于闸门上方，所述龙门组件包括连接于基板侧壁上方的龙门架，且龙门架上方滑动连接有连接块，所述龙门架内部贯穿有连接于闸门和连接块的链条；

驱动组件，连接在蒸发盘上方，所述驱动组件包括与蒸发盘同步转动的上连接杆和拨动杆，拨动杆连接在上连接杆上方，驱动组件在坩埚停止转动时驱动闸门升起，打开电子击打通道。

优选的，所述拨动杆由内圆板和多组外拨杆组成，外拨杆的数量匹配于坩埚的数量，均匀分布在内圆板外壁。

优选的，所述闸门侧壁连接有侧凸条，且电子枪结构侧壁开设有供侧凸条插设的滑动槽。

优选的，所述闸门材质设置为石墨，以隔绝电子束。

优选的，所述蒸发盘下方设置有转动机构，且转动机构包括连接于蒸发盘底端的下连接杆，所述下连接杆底端连接有叶片，所述叶片由四组内凹边和外凸边组成，内凹边和外凸边交错分布，四组所述外凸边皆开设有限位槽，所述基板顶端轴承连接有底板，且底板顶部连接有凸块。

优选的，所述底板顶部连接有限位盘，且限位盘外弧度匹配于叶片的内凹边，所述限位盘正对凸块的一侧开设有圆弧形凹槽。