[发明专利]LED外延片及其制备方法、LED有效
申请号: | 202310094921.8 | 申请日: | 2023-02-10 |
公开(公告)号: | CN115799415B | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 张彩霞;印从飞;程金连;刘春杨;胡加辉;金从龙 | 申请(专利权)人: | 江西兆驰半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/14;H01L33/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 李素兰 |
地址: | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本发明公开了一种LED外延片及其制备方法、LED,涉及半导体光电器件领域。提升电压分布均匀性的LED外延片包括衬底和依次设于所述衬底上的形核层、本征GaN层、N型半导体层、多量子阱层、电子阻挡层和P型半导体层,所述N型半导体层包括依次层叠的SiN晶种层、SiGaN粗化层和SiGaN填平层;其中,所述SiGaN粗化层中Si的掺杂浓度大于所述SiGaN填平层中Si的掺杂浓度。实施本发明,可提升LED的电压分布均匀性,提高抗静电能力和表面平整度。 | ||
搜索关键词: | led 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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