[发明专利]一种伪模态抑制型的高频声波谐振器

摘要

本发明提供了一种伪模态抑制型的高频声波谐振器，该高频声波谐振器包括：衬底，压电层，叉指电极；该叉指电极包括在第一方向上相对设置的第一汇流条和第二汇流条，以及位于第一汇流条和第二汇流条之间的多个电极指，该电极指的排布方式可以使多个第一级间隙点和多个第二级间隙点依次连接构成二维虚拟多边形，虚拟多边形的任意两边互不平行，从而可以改变空间电场分布，调整长度方向和传播方向被激发的高阶声波，进而削弱伪模态的振动幅度，有效抑制了伪模态，并且不需要增加额外的工艺，避免了其它影响性能的因素，得到的高频声波谐振器既能有效抑制伪模态又可以提升滤波器的带内平坦度，避免了影响声波谐振器的性能。