[发明专利]一种伪模态抑制型的高频声波谐振器

权利要求书

1.一种伪模态抑制型的高频声波谐振器，其特征在于，所述高频声波谐振器包括：

衬底；

位于所述衬底一侧的压电层；

位于所述压电层背离所述衬底一侧的多个叉指电极；

所述叉指电极包括在第一方向上相对设置的第一汇流条和第二汇流条，以及位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间的多个电极指，所述电极指包括第一电极和第二电极；

在第二方向上，所述第一电极包括在所述第一汇流条面向所述第二汇流条的一侧交替排布的多个第一电极指和多个第一伪电极指，所述第二电极包括在所述第二汇流条面向所述第一汇流条的一侧交替排布的多个第二电极指和多个第二伪电极指，所述第一方向和所述第二方向均平行于所述衬底所在平面，且所述第二方向与所述第一方向垂直；

所述第一电极指和所述第二伪电极指在所述第一方向上相对设置，所述第一伪电极指和所述第二电极指在所述第一方向上相对设置，所述第一电极指和所述第二伪电极指之间具有第一级间隙点，所述第一伪电极指和所述第二电极指之间具有第二级间隙点；

其中，多个所述第一级间隙点和多个所述第二级间隙点作为顶点依次连接构成虚拟多边形，所述虚拟多边形的任意两边互不平行。

2.根据权利要求1所述的高频声波谐振器，其特征在于，所述虚拟多边形为五顶点多边形，所述五顶点多边形的内角均小于180°。

3.根据权利要求1所述的高频声波谐振器，其特征在于，所述高频声波谐振器还包括：

位于所述衬底与所述压电层之间的释放层；

贯穿所述压电层的多个通孔；

位于所述衬底与所述压电层之间的空气腔，所述空气腔与所述通孔连通。

4.根据权利要求1所述的高频声波谐振器，其特征在于，所述高频声波谐振器还包括：温度补偿层；

所述温度补偿层位于所述压电层背离所述衬底的一侧；

和/或所述温度补偿层位于所述压电层面向所述衬底的一侧。

5.根据权利要求1所述的高频声波谐振器，其特征在于，所述叉指电极形成的电场方向与所述压电层在全局坐标系下的+Y轴方向呈欧拉角θ，所述欧拉角θ的取值范围为-40°～+40°；

所述叉指电极基于所述欧拉角θ设置在所述压电层背离所述衬底的一侧。

6.根据权利要求1所述的高频声波谐振器，其特征在于，所述第一汇流条为半圆形结构；所述第二汇流条为半圆形结构。

7.根据权利要求1所述的高频声波谐振器，其特征在于，所述第一汇流条在所述第一方向上的宽度为所述叉指电极的波长的0.01-10倍；

所述第二汇流条在所述第一方向上的宽度为所述叉指电极的波长的0.01-10倍。

8.根据权利要求1所述的高频声波谐振器，其特征在于，所述第一伪电极指在所述第一方向上的长度为所述叉指电极的波长的0.5-10倍，所述第二伪电极指在所述第一方向上的长度为所述叉指电极的波长的0.5-10倍；

所述第一电极指在所述第一方向上的长度为所述叉指电极的波长的8-40倍，和/或所述第二电极指在所述第一方向上的长度为所述叉指电极的波长的8-40倍；

在所述第一方向上，所述第一伪电极指的长度小于所述第一电极指的长度，所述第二伪电极指的长度小于所述第二电极指的长度。

9.根据权利要求1所述的高频声波谐振器，其特征在于，所述第一电极指和所述第二伪电极指之间的间距为所述叉指电极的波长的0.2-5倍；

所述第一伪电极指和所述第二电极指之间的间距为所述叉指电极的波长的0.2-5倍。

10.根据权利要求1所述的高频声波谐振器，其特征在于，所述压电层的厚度的取值范围为10nm-5000nm；

所述叉指电极的厚度的取值范围为10nm-5000nm；

所述叉指电极的数量的取值范围为2-400个；

相邻两个所述叉指电极之间的间距的取值范围为0.1um-30um；

每个所述叉指电极在所述第二方向上的宽度的取值范围为0.1um-15um。