[发明专利]一种三明治接触结构MEMS开关及其制备方法在审
| 申请号： | 202310080199.2 | 申请日： | 2023-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN115863112A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 余志伟 | 申请（专利权）人： | 山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H49/00;H01H1/00;H01H1/02 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 张元;陈黎明 |
| 地址： | 250000 山东省济南市中国（山东）自由贸*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种三明治接触结构MEMS开关及其制备方法，开关结构包括：第一支撑部，具有U型槽结构；可动电极，包括固定端和可动端，其中，固定端与第一支撑部的U型槽的内底面之间设置有绝缘层，可动端远离固定端并相对于绝缘层悬空；第二支撑部，具有平面结构，平面结构的一面具有绝缘层；驱动电极和接触电极，二者相互平行的设置于平面结构的绝缘层上；第一支撑部的U型槽开口倒扣于第二支撑部上，并使得可动电极的可动端的接触面正对于驱动电极和接触电极的接触面，且驱动电极位于接触电极和可动电极的固定端之间。本发明将MEMS开关设计为可拆分的两部分，使其能够通过分开制备而大大降低制备难度，且结构上有助于降低封装难度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三明治 接触 结构 mems 开关 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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