[发明专利]一种三明治接触结构MEMS开关及其制备方法

权利要求书

1.一种三明治接触结构MEMS开关，其特征在于，包括：

第一支撑部，所述第一支撑部具有U型槽结构；

可动电极，所述可动电极包括固定端和可动端，其中，所述固定端与所述第一支撑部的U型槽的内底面之间设置有绝缘层，所述可动端远离所述固定端并相对于所述绝缘层悬空；

第二支撑部，所述第二支撑部具有平面结构，所述平面结构的一面具有绝缘层；

驱动电极和接触电极，所述驱动电极和所述接触电极相互平行的设置于所述平面结构的绝缘层上；

所述第一支撑部的U型槽开口倒扣于所述第二支撑部上，并使得所述可动电极的可动端的接触面正对于所述驱动电极和所述接触电极的接触面，且所述驱动电极位于所述接触电极和所述可动电极的固定端之间。

2.根据权利要求1所述的一种三明治接触结构MEMS开关，其特征在于，所述第一支撑部和所述第二支撑部通过键合的方式组装在一起。

3.根据权利要求1所述的一种三明治接触结构MEMS开关，其特征在于，所述驱动电极和所述接触电极的表面均镀有单层的石墨烯薄膜，且所述驱动电极和所述接触电极的材料均为与石墨烯具有强相互作用的金属材料。

4.根据权利要求1或3所述的一种三明治接触结构MEMS开关，其特征在于，所述可动电极的材料为与石墨烯具有弱相互作用的金属材料。

5.根据权利要求3所述的一种三明治接触结构MEMS开关，其特征在于，所述驱动电极和所述接触电极的材料包括：钌或钛。

6.根据权利要求4所述的一种三明治接触结构MEMS开关，其特征在于，所述可动电极的材料包括：金、铜或铱。

7.根据权利要求1所述的一种三明治接触结构MEMS开关，其特征在于，所述第一支撑部和所述第二支撑部的材料包括：硅或锗。

8.一种三明治接触结构MEMS开关的制备方法，其特征在于，所述方法包括制备所述MEMS开关的第一部分：

通过刻蚀获得具有U型槽的第一基底；

对所述U型槽的内底面进行氧化得到绝缘层；

在所述绝缘层的表面固定金属电极，并通过掩膜刻蚀法制备出可动电极；

采用湿法刻蚀去除一部分绝缘层使得所述可动电极的一端悬空。

9.根据权利要求8所述的一种三明治接触结构MEMS开关的制备方法，其特征在于，所述方法还包括制备所述MEMS开关的第二部分：

对第二基底的一表面进行氧化得到绝缘层；

在所述绝缘层上固定金属电极，并通过掩膜刻蚀法制备出互相平行的驱动电极和接触电极；

通过化学气相沉积法在所述驱动电极和所述接触电极的表面镀上单层的石墨烯薄膜。

10.根据权利要求9所述的一种三明治接触结构MEMS开关的制备方法，其特征在于，所述方法还包括：

将所述MEMS开关的第一部分的U型槽开口倒扣在所述MEMS开关的第二部分上，并使得所述第一基底和所述第二基底通过键合的方式组装在一起。