[发明专利]用于电镀的自适应聚焦和输送系统在审
| 申请号： | 202310063307.5 | 申请日： | 2023-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN116497426A | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 阿瑟·凯格勒;大卫·瓜尔纳烚;弗里曼·费雪;德梅特留斯·帕帕帕纳约图;乔纳森·海恩斯;丹尼尔·古德曼 | 申请（专利权）人： | 先进尼克斯有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D17/06;C25D21/10;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 11214 | 代理人： | 艾晶;孔珊珊 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于电镀工件的系统和方法。一方面，设备包括沉积室、适于插入和移出所述沉积室的工件固持器、具有与所述工件上的特征相对应的孔径图案的屏蔽件、同样适于插入和移出所述沉积室的屏蔽件固持器、以及将所述工件定位在所述工件固持器中的定位机构，使得当所述工件固持器和所述屏蔽件固持器插入所述沉积室时，所述屏蔽件上的所述孔径图案将与所述工件上的所述相应特征对齐。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电镀 自适应 聚焦 输送 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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