[发明专利]一种金属高压压力传感器及制备方法在审
| 申请号： | 202310033037.3 | 申请日： | 2023-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN115855329A | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 毕勤;刘晓宇 | 申请（专利权）人： | 无锡胜脉电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 江苏智天知识产权代理有限公司 32550 | 代理人： | 何源 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于敏感元件与传感器技术领域，具体涉及一种金属高压压力传感器及制备方法，包括贴装在不锈钢应变片上的高压MEMS芯片，高压MEMS芯片包括压敏电阻部、金属连接部、输入/输出引脚；输入/输出引脚通过引线与输入/输出端子连接；压敏电阻部、金属连接部、输入/输出引脚从下到上均排布有第一介质层、压敏电阻层、第二介质层；金属连接部、输入/输出引脚还包括设于第二介质层上端的金属层，金属层通过第二介质层设有的引线孔与压敏电阻层连接。本发明提出的一种金属高压压力传感器及制备方法可以有效提高不锈钢压力传感器芯片的生产良率以及产品的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 高压 压力传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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