[发明专利]一种金属-介质偏振光栅及其制备方法在审
| 申请号： | 202310029560.9 | 申请日： | 2023-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN116299812A | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 程鑫彬;朱静远;董思禹;王占山;宁燚;刘亮 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/30;G03F7/32;G03F7/075;C23C14/18;C23C14/30;C23C14/10;C23C14/26 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 杨元焱 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种金属‑介质偏振光栅及其制备方法，金属‑介质偏振光栅从下自上依次包括Si衬底层、SiO |
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| 搜索关键词： | 一种 金属 介质 偏振 光栅 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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