[发明专利]一种二维环形光斑的质量检测方法、装置和存储介质在审
申请号: | 202310011310.2 | 申请日: | 2023-01-05 |
公开(公告)号: | CN116086774A | 公开(公告)日: | 2023-05-09 |
发明(设计)人: | 匡翠方;关键;朱大钊;贾天浩;徐良;李海峰;刘旭 | 申请(专利权)人: | 之江实验室;浙江大学 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人: | 亓一舟 |
地址: | 311121 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请涉及一种二维环形光斑的质量检测方法、装置和存储介质,其中,该二维环形光斑的质量检测方法包括:获取待检测的二维环形光斑的光强信息;根据光强信息确定二维环形光斑在检测线上的光强变化趋势,检测线包括自二维环形光斑的圆心向一侧延伸的射线;根据光强变化趋势确定二维环形光斑的质量。通过本申请,首先获取待检测的二维环形光斑的光强信息,然后确定二维环形光斑在至少一条检测线上的光强变化趋势。二维环形光斑内侧的光强降低速率越快,则其质量越好,也就越适合作为抑制光。解决了相关技术中存在无法有效地筛选出刻写效果好的二维环形光斑的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 二维 环形 光斑 质量 检测 方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】:
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