[发明专利]一种二维环形光斑的质量检测方法、装置和存储介质

权利要求书

1.一种二维环形光斑的质量检测方法，其特征在于，所述方法包括：

获取待检测的二维环形光斑的光强信息；

根据所述光强信息确定所述二维环形光斑在检测线上的光强变化趋势，所述检测线包括自所述二维环形光斑的圆心向一侧延伸的射线；

根据所述光强变化趋势确定所述二维环形光斑的质量。

2.根据权利要求1所述的二维环形光斑的质量检测方法，其特征在于，所述获取待检测的二维环形光斑的光强信息包括：

通过雪崩光电二极管或光电倍增管扫描待检测的所述二维环形光斑，得到所述二维环形光斑的光强信息。

3.根据权利要求1所述的二维环形光斑的质量检测方法，其特征在于，所述根据所述光强信息确定所述二维环形光斑在检测线上的光强变化趋势包括：

确定所述二维环形光斑在所述检测线上的光强最高点，计算所述二维环形光斑自所述光强最高点沿指向圆心方向的光强下降速率；

所述根据所述光强变化趋势确定所述二维环形光斑的质量包括：

根据所述光强下降速率确定所述二维环形光斑的质量，所述二维环形光斑的质量与所述光强下降速率呈正相关。

4.根据权利要求1所述的二维环形光斑的质量检测方法，其特征在于，所述检测线为中轴线，所述根据所述光强信息确定所述二维环形光斑在检测线上的光强变化趋势包括：

根据所述光强信息生成所述二维环形光斑在中轴线上的光强双峰曲线，所述光强双峰曲线的横坐标表示位置及其纵坐标表示光强；

确定所述光强双峰曲线对应于多个不同纵坐标的内侧间距，计算多个所述内侧间距的标准差；

所述根据所述光强变化趋势确定所述二维环形光斑的质量包括：

根据所述标准差确定所述二维环形光斑的质量，所述二维环形光斑的质量与所述标准差呈负相关。

5.根据权利要求1所述的二维环形光斑的质量检测方法，其特征在于，所述根据所述光强信息确定所述二维环形光斑在检测线上的光强变化趋势包括：

根据所述光强信息生成灰度信息；

根据所述灰度信息生成所述二维环形光斑的灰度图；

确定所述灰度图在所述检测线上的灰度最高点，计算所述灰度图自所述灰度最高点沿指向圆心方向的灰度下降速率；

所述根据所述光强变化趋势确定所述二维环形光斑的质量包括：

根据所述灰度下降速率确定所述二维环形光斑的质量，所述二维环形光斑的质量与所述灰度下降速率呈正相关。

6.根据权利要求1所述的二维环形光斑的质量检测方法，其特征在于，所述检测线为中轴线，所述根据所述光强信息确定所述二维环形光斑在检测线上的光强变化趋势包括：

根据所述光强信息生成灰度信息；

根据所述灰度信息生成所述二维环形光斑的灰度图；

生成所述灰度图在中轴线上的灰度双峰曲线，所述光强双峰曲线的横坐标表示位置及其纵坐标表示灰度值；

确定所述光强双峰曲线对应于多个不同纵坐标的内侧间距，计算多个所述内侧间距的标准差；

所述根据所述光强变化趋势确定所述二维环形光斑的质量包括：

根据所述标准差确定所述二维环形光斑的质量，所述二维环形光斑的质量与所述标准差呈负相关。

7.根据权利要求6所述的二维环形光斑的质量检测方法，其特征在于，所述生成所述灰度图在中轴线上的灰度双峰曲线包括：

确定所述灰度图在所述中轴线上的各个位置点的灰度值；

对所述各个位置点的灰度值进行归一化处理；

根据归一化处理后的所述灰度值生成所述灰度双峰曲线。