[发明专利]一种MEMS惯组传感器结构及其姿态测量方法

摘要

本发明属于惯组传感器技术领域，具体涉及一种MEMS惯组传感器结构及其姿态测量方法，包括激光器层、上层光栅结构层、纳米光栅惯性组件结构层、探测器层，所述激光器层的下方设置了上层光栅结构层，所述上层光栅结构层的下方设置了纳米光栅惯性组件结构层，所述纳米光栅惯性组件结构层的下方设置了探测器层。本发明的纳米光栅惯性组件由X、Y、Z三轴陀螺和三轴加速度结构构成，其主要工作原理是光束垂直入射光栅陀螺与加速度计，双层光栅由于科氏力和惯性力作用下使得双层光栅结构发生相对运动，进而双层光栅后的衍射光强发生变化，通过探测光强的变化进而实现角速率和加速度的测量。