[发明专利]用于化学机械研磨的热水生成在审
| 申请号： | 202280005689.X | 申请日： | 2022-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN115996817A | 公开（公告）日： | 2023-04-21 |
| 发明（设计）人： | H·桑达拉拉贾恩;C·波拉德;A·J·菲舍;张寿松;吴昊晟;唐建设 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 汪骏飞;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种化学机械研磨系统包括：平台，用以支撑研磨垫；承载头；电机，用以在平台与承载头之间生成相对运动；蒸汽生成器，包括容器和加热元件，所述容器具有进水口和一个或多个蒸汽出口，且所述加热元件被配置成施加热量至下腔室部分以生成蒸汽；喷嘴，被定向以将蒸汽从蒸汽生成器输送至研磨垫上；水箱，用以固持清洁流体；第一阀，位于容器与喷嘴之间的第一流体管线中，以将容器与喷嘴可控地连接和断开；第二阀，位于容器与水箱之间的第二流体管线中，以将容器与水箱可控地连接和断开，使得来自容器的蒸汽加热水箱中的流体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械 研磨 热水 生成 | ||
【主权项】：
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