[实用新型]一种无连杆式抛动机构

摘要

本实用新型公开了一种无连杆式抛动机构，包括电机座、减速器、步进电机、偏心轮、安装孔、固定板、直线轨道、位置检测支架、滑动座、连接支架、保护罩、挡板、轴承、行程槽，电机座为L型片状体支架，步进电机安装在电机座上，减速器安装在步进电机前端，偏心轮轴心安装在减速器输出轴上，偏心轮上有三个安装孔，分别位于偏离偏心轮轴心15mm、20mm、25mm处，轴承安装在安装孔内，固定板为片状体结构，直线轨道位于固定板侧方，滑动座为片状体结构，安装在直线轨道上，行程槽为位于滑动座中部的长方形镂空槽，轴承插入到行程槽内部，解决了目前市场上的晶圆清洗机使用过程中对晶圆表面清洗效果不稳定、药液容易溅出、安全性低的问题。