[实用新型]一种化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开了一种化学气相沉积设备，包括：反应腔；基座，位于所述反应腔内；固定板，位于所述反应腔外；支撑机构，包括支撑杆和驱动组件；所述支撑杆的第一端与驱动组件连接，所述支撑杆的第二端与所述基座连接，所述驱动组件用于驱动所述支撑杆转动和/或升降；其中，所述支撑机构安装在所述固定板并且完全位于所述固定板的一侧。本实用新型将基座的支撑机构固定于反应腔外的其他部件，优化了反应腔的受力情况，减少反应腔受力过大而被损坏的风险。