[实用新型]工件研磨系统以及工件研磨控制系统有效
| 申请号: | 202223412761.7 | 申请日: | 2022-12-19 |
| 公开(公告)号: | CN218875037U | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
| 发明(设计)人: | 李瑶;黄龙;苗雨果 | 申请(专利权)人: | 广东长盈精密技术有限公司;深圳市长盈精密技术股份有限公司 |
| 主分类号: | B24B37/00 | 分类号: | B24B37/00;B24B37/11;B24B37/27;B24B37/34;B24B49/00;B24B49/12;B24B51/00;B24B57/02 |
| 代理公司: | 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) 50221 | 代理人: | 刘念芝 |
| 地址: | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | 本实用新型公开了工件研磨系统以及工件研磨控制系统,所述工件研磨系统包括具有研磨盘和研磨台的研磨设备,所述研磨设备顶部设有研磨液蓄液腔,还包括设于所述研磨盘上的位移传感器及与所述研磨设备的研磨液蓄液腔连通的供液系统,所述供液系统包括具有第一出液孔的研磨液储液罐、与研磨液储液罐的第一出液孔连通的第一抽液泵及一端与所述第一抽液泵连通、另一端与所述研磨液蓄液腔连通的第一送液管路,所述第一抽液泵与一控制装置电连接。所述工件研磨控制系统包括控制装置、设于研磨设备的研磨台上且与所述控制装置电连接的位移传感器及设于所述研磨设备的研磨液蓄液腔内且与所述控制装置电连接的液位传感器,所述控制装置还与第一抽液泵连接。 | ||
| 搜索关键词: | 工件 研磨 系统 以及 控制系统 | ||
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