[实用新型]工件研磨系统以及工件研磨控制系统

权利要求书

1.一种工件研磨系统，包括具有研磨盘和研磨台的研磨设备，所述研磨设备顶部设有研磨液蓄液腔，其特征在于：还包括设于所述研磨盘上的位移传感器以及与所述研磨设备的研磨液蓄液腔连通的供液系统，所述供液系统包括具有第一出液孔的研磨液储液罐、与研磨液储液罐的第一出液孔连通的第一抽液泵以及一端与所述第一抽液泵连通、另一端与所述研磨液蓄液腔连通的第一送液管路，所述第一抽液泵与一控制装置电连接。

2.如权利要求1所述的工件研磨系统，其特征在于：所述第一送液管路上设置有用于检测其内的研磨液流量的流量检测单元，所述流量检测单元与所述控制装置电连接。

3.如权利要求1所述的工件研磨系统，其特征在于：还包括设于所述研磨液储液罐内的研磨液搅拌器，所述研磨液搅拌器与所述控制装置电连接。

4.如权利要求1所述的工件研磨系统，其特征在于：还包括设于所述研磨液储液罐内的液相传感器，所述液相传感器与所述控制装置电连接。

5.如权利要求1所述的工件研磨系统，其特征在于：所述研磨台上设置有一废液收集槽，所述废液收集槽的下端具有一排液孔；所述工件研磨系统还包括一具有第一进液孔的过滤池、与所述第一进液孔连通的第二抽液泵以及一排液管路，所述排液管路的一端与所述废液收集槽的排液孔连通，另一端与所述第二抽液泵连通；所述第二抽液泵与所述控制装置电连接。

6.如权利要求5所述的工件研磨系统，其特征在于：所述过滤池还具有第二出液孔，所述研磨液储液罐还具有第二进液孔；所述工件研磨系统还包括一与所述控制装置电连接的第三抽液泵以及第二送液管路，所述第三抽液泵与所述第二出液孔连通，所述第二送液管路的一端与所述第三抽液泵连通，另一端与所述第二进液孔连通。

7.如权利要求1至6中任一项所述的工件研磨系统，其特征在于：还包括用于携带工件的游星轮、与所述控制装置电连接的用于抓取游星轮及工件的抓取装置以及与所述抓取装置连接且与所述控制装置电连接的上下料机械手；所述游星轮包括轮盘、形成于所述轮盘周缘上的与工件形状相适配的仿形定位孔以及形成于所述轮盘上的用于与工件治具台上的定位柱定位配合的定位孔；所述工件具有能够定位于所述仿形定位孔中以显露于所述轮盘正面的凸部以及当所述凸部定位于所述仿形定位孔内后位于所述轮盘背面的沉部；所述抓取装置用于真空吸附所述凸部和轮盘的正面。

8.如权利要求7所述的工件研磨系统，其特征在于：所述抓取装置包括与所述上下料机械手连接的连接柱、与所述连接柱下端连接的安装盘、沿所述安装盘周缘分布于所述安装盘上对应于工件的位置处的第一真空吸嘴、设于所述安装盘上且位于所述第一真空吸嘴内侧的用于吸附游星轮的第二真空吸嘴以及设于所述安装盘底面的用于产生反作用力的弹性压件，所述第一真空吸嘴和第二真空吸嘴通过管道与抽气泵连通，所述第一真空吸嘴和第二真空吸嘴与所述抽气泵连通的管道上均设置有电磁阀，所述抽气泵和电磁阀均与所述控制装置电连接。

9.如权利要求8所述的工件研磨系统，其特征在于：所述安装盘底部设置有多个绕所述安装盘一周设置的激光感应单元，多个激光感应单元与所述工件一一对应；所述安装盘底部上设有位于所述多个激光感应单元内周的能够绕自身轴心旋转的环形旋转轨道，所述环形旋转轨道的外周形成有第一啮合齿，所述安装盘的底面设置有用于驱动所述环形旋转轨道的驱动电机，所述驱动电机的输出轴绕设有与所述第一啮合齿配合的第二啮合齿，所述环形旋转轨道上还设置有光亮度检测单元，所述光亮度检测单元随所述环形旋转轨道转动以能够与每一激光感应单元配合检测每一工件的研磨光亮度；所述激光感应单元、驱动电机以及光亮度检测单元均与所述控制装置电连接。

10.一种工件研磨控制系统，其特征在于：包括控制装置、设于研磨设备的研磨台上且与所述控制装置电连接的位移传感器以及设于所述研磨设备的研磨液蓄液腔内且与所述控制装置电连接的液位传感器，所述控制装置还与权利要求1至9中任一项所述的工件研磨系统的供液系统的第一抽液泵电连接。