[实用新型]热处理装置及太阳能电池生产设备

摘要

本申请公开了一种热处理装置及太阳能电池生产设备，属于太阳能电池领域。一种热处理装置，包括：工艺腔体，用于在工艺腔体内对电池片进行热处理；传输机构，所述传输机构包括用于传送电池片的链式传送带，以向工艺腔体内输入或从工艺腔体内运出电池片；保护气体源，所述保护气体源通过气体输送管路与工艺腔体连通，用于向工艺腔体内注入保护气体；预热机构，所述预热机构设置于气体输送管路上，用于将保护气体进行预热处理；水汽供给机构，所述水汽供给机构与气体输送管路连通，用于向工艺腔体内提供水汽。本申请可以缓解当前太阳能电池的制备过程中，在空气氛围下进行热处理影响电池性能的问题。