[实用新型]热处理装置及太阳能电池生产设备

说明书

本申请公开了一种热处理装置及太阳能电池生产设备，属于太阳能电池领域。一种热处理装置，包括：工艺腔体，用于在工艺腔体内对电池片进行热处理；传输机构，所述传输机构包括用于传送电池片的链式传送带，以向工艺腔体内输入或从工艺腔体内运出电池片；保护气体源，所述保护气体源通过气体输送管路与工艺腔体连通，用于向工艺腔体内注入保护气体；预热机构，所述预热机构设置于气体输送管路上，用于将保护气体进行预热处理；水汽供给机构，所述水汽供给机构与气体输送管路连通，用于向工艺腔体内提供水汽。本申请可以缓解当前太阳能电池的制备过程中，在空气氛围下进行热处理影响电池性能的问题。

技术领域

本申请属于太阳能电池制造技术领域，涉及退火或固化热处理，具体涉及一种热处理装置及太阳能电池生产设备。

背景技术

晶体硅/非晶硅异质结(SHJ)太阳能电池因其能获得更高的开路电压和转换效率，具有光电转换效率高、温度系数小等优点，近年来受到越来越多的广泛关注。

现有的一种硅异质结太阳能电池的制备工艺包括：制绒清洗，非晶硅薄膜沉积，透明导电氧化物薄膜(TCO)沉积，丝网印刷电极，退火。其中采用丝网印刷低温银浆可用于形成银栅线，在丝网印刷银浆后，需要对电池进行烘干，让银浆成型，然后对电池进行高温退火(固化)和大光强照射下的快速退火(LED退火)，使浆料中的有机物挥发，同时对沉积的非晶/微晶硅薄膜，以及制备的透明导电薄膜进行退火恢复。退火的作用，不仅可用于对银浆进行烘干与烧结，使得其中的有机溶剂挥发，提高银浆与TCO的粘结强度，有利于硅异质结太阳能电池的组件焊接拉力或提高银栅线的电导率等，还可用于消除在薄膜沉积过程中因受到轰击等导致的离子体损伤和应力缺陷，从而降低了缺陷密度，降低硅异质结太阳能电池中的TCO/非晶硅薄膜，TCO/Ag电极的界面电阻，有利于硅异质结太阳能电池的开路电压和填充因子的提升。

传统的行业在丝网印刷完低温银浆后，进行烘烤和固化工艺，其都在开放式的退火炉中进行，即在大气氛围下进行固化或退火等热处理工序，这样，容易导致银电极出现部分氧化，影响电极的导电特性，进而影响太阳能电池的性能。高温和氧气还会使得TCO出现部分氧化，使得TCO的方块电阻增加，也影响太阳能电池的性能。

实用新型内容

本申请旨在至少在一定程度上解决上述相关技术中的技术问题之一。

为此，本申请的目的在于提供一种热处理装置及太阳能电池生产设备，可以缓解当前在空气氛围下进行退火等热处理影响电池性能的问题。

为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

本申请实施例提供了一种热处理装置，所述热处理装置包括：

工艺腔体，用于在所述工艺腔体内对电池片进行热处理；

传输机构，所述传输机构包括用于传送电池片的链式传送带，以向所述工艺腔体内输入或从所述工艺腔体内运出电池片；

保护气体源，所述保护气体源通过气体输送管路与所述工艺腔体连通，用于向所述工艺腔体内注入保护气体；

预热机构，所述预热机构设置于所述气体输送管路上，用于将保护气体进行预热处理。

另外，根据本申请的热处理装置，还可以具有如下附加的技术特征：

在其中的一些实施方式中，所述工艺腔体包括相互连接的多个工艺子腔体，所述传输机构用于在多个所述工艺子腔体之间传输电池片，各个所述工艺子腔体内的工艺腔温度适于单独调控。

在其中的一些实施方式中，每个所述工艺子腔体内分别设有光源或加热部件中的一种或多种；

和/或，每个所述工艺子腔体内均设有温度传感器。

在其中的一些实施方式中，所述工艺腔体的进料侧设置有至少一个过渡腔体，所述电池片通过所述链式传送带从所述过渡腔体运动至所述工艺腔体；