[实用新型]热处理装置及太阳能电池生产设备

权利要求书

1.一种热处理装置，其特征在于，所述热处理装置包括：

工艺腔体，用于在所述工艺腔体内对电池片进行热处理；

传输机构，所述传输机构包括用于传送电池片的链式传送带，以向所述工艺腔体内输入或从所述工艺腔体内运出电池片；

保护气体源，所述保护气体源通过气体输送管路与所述工艺腔体连通，用于向所述工艺腔体内通入保护气体；

预热机构，所述预热机构设置于所述气体输送管路上，用于将保护气体进行预热处理。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述工艺腔体包括相互连接的多个工艺子腔体，所述传输机构用于在多个所述工艺子腔体之间传输电池片，各个所述工艺子腔体内的工艺参数或功能选择适于单独调控。

3.根据权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，每个所述工艺子腔体内分别设有光源或加热部件中的一种或多种；

和/或，每个所述工艺子腔体内均设有温度传感器。

4.根据权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述工艺腔体的进料侧设置有至少一个过渡腔体，所述电池片通过所述链式传送带从所述过渡腔体运动至所述工艺腔体；

和/或，所述工艺腔体的出料侧设置有至少一个过渡腔体，所述电池片通过所述链式传送带从所述工艺腔体运动至所述过渡腔体。

5.根据权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，所述工艺腔体的进料侧设置有第一过渡腔体，所述工艺腔体的出料侧设置有第二过渡腔体，所述电池片通过所述链式传送带从所述第一过渡腔体运动至所述工艺腔体，再从所述工艺腔体运动至所述第二过渡腔体；

所述第一过渡腔体和所述第二过渡腔体分别通过第一支路和第二支路与所述气体输送管路连通。

6.根据权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，所述工艺腔体、所述过渡腔体均设置有允许所述链式传送带通过的开口；

所述开口处设置有隔离件。

7.根据权利要求1-6任一项所述的热处理装置，其特征在于，所述热处理装置还包括水汽供给机构，所述水汽供给机构与所述气体输送管路连通，用于向所述工艺腔体内提供水汽。

8.根据权利要求7所述的热处理装置，其特征在于，所述水汽供给机构包括储水槽，所述储水槽通过输入管路与所述气体输送管路连通，用于将所述气体输送管路中的保护气体注入至所述储水槽中；

所述储水槽还通过水汽输出管路与所述气体输送管路连通，用于将含有水汽的保护气体通过所述气体输送管路注入至所述工艺腔体中。

9.根据权利要求8所述的热处理装置，其特征在于，所述输入管路上设置有第一阀门，所述水汽输出管路上设置有第二阀门；

所述气体输送管路包括连接段，所述连接段位于用于与所述输入管路连接和用于与所述水汽输出管路连接之间，所述连接段上设置有第三阀门；

和/或，所述气体输送管路靠近所述预热机构的出口端设置有第四阀门；所述气体输送管路靠近所述保护气体源的出口端设置有第五阀门。

10.根据权利要求1-6任一项所述的热处理装置，其特征在于，所述保护气体源包括氮气柜、氢气柜、氩气柜、氦气柜或氖气柜中的一种或多种。

11.一种太阳能电池生产设备，其特征在于，包括如权利要求1至10中任意一项所述的热处理装置。