[实用新型]一种新型MEMS压阻式加速度传感器有效
| 申请号： | 202223361180.5 | 申请日： | 2022-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN218782296U | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | 盖广洪;苗天宇;颜逊 | 申请（专利权）人： | 苏州航凯微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 北京专赢专利代理有限公司 11797 | 代理人： | 管艳艳 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种新型MEMS压阻式加速度传感器，包括外框，所述外框中安装有十字梁，所述十字梁用于将外框的内部分隔成四个安装区域，所述安装区域中安装有质量块，四个所述质量块分别通过一个应变梁与十字梁连接，四个所述应变梁中分别设置有一个半导体电阻，沿着传感器的工作方向，与同一坐标值的质量块连接的两个半导体电阻为电桥的一侧，通过四个半导体电阻构成惠斯通电桥。采用钟摆式结构，有效放大了质量块受力时的位移，再通过对质量块添加限位的方式对“应变梁‑质量块”结构进行保护，从而实现了高过载冲击保护。相对于传统的高g值加速度计，拥有更高的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 mems 压阻式 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
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