[实用新型]一种半导体光阻喷涂装置有效
| 申请号： | 202223272590.2 | 申请日： | 2022-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN219442192U | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 黄晨 | 申请（专利权）人： | 杭州富芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | B05B15/25 | 分类号： | B05B15/25;B05B12/00;G01N21/35;G01N21/3577 |
| 代理公司： | 北京乐知新创知识产权代理事务所(普通合伙) 11734 | 代理人： | 王曌寅 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种半导体光阻喷涂装置，包括：用于对晶圆喷涂光阻剂的喷嘴；用于不断向所述喷嘴提供光阻溶液的缓冲罐，所述缓冲罐与所述喷嘴相连；用于储存光阻剂并向所述缓冲罐添加光阻剂的光阻瓶；以及用于去除向所述缓冲罐添加光阻剂过程中产生的气泡的气泡去除机构，所述气泡去除机构连接在所述缓冲罐与所述光阻瓶之间。本公开的半导体光阻喷涂装置，在光阻剂补充进搅拌筒后，通过气泡去除机构去除气泡，有利于光阻喷涂的顺利进行，并能够降低光阻喷涂过程中产生上光不良或者膜厚异常现象的几率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 喷涂 装置 | ||
【主权项】：
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