[实用新型]一种低污染载片基座拆装装置有效
| 申请号： | 202223179793.7 | 申请日： | 2022-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN218666406U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 陈国钦;万胜强;胡凡;巴赛 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B29/36;C23C16/458;H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;彭依 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种低污染载片基座拆装装置，包括洁净腔体、升降机构及用于承载载片基座的承载座，所述承载座设于洁净腔体内，所述升降机构穿设于承载座中，载片底座包括底座本体及盖板，载片底座的斜边设于底座本体上，所述底座本体上设有开口，所述盖板盖设于开口上。本实用新型具有结构简单、减少晶圆污染的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 污染 基座 拆装 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所，未经中国电子科技集团公司第四十八研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202223179793.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种防反转过载的离合结构及插秧机
- 下一篇：一种水处理用消毒设备
