[实用新型]一种低污染载片基座拆装装置

权利要求书

1.一种低污染载片基座拆装装置，其特征在于：包括洁净腔体(2)、升降机构(3)及用于承载载片基座(1)的承载座(4)，所述承载座(4)设于洁净腔体(2)内，所述升降机构(3)穿设于承载座(4)中，载片底座(11)包括底座本体(111)及盖板(112)，载片底座(11)的斜边设于底座本体(111)上，所述底座本体(111)上设有开口(113)，所述盖板(112)盖设于开口(113)上。

2.根据权利要求1所述的低污染载片基座拆装装置，其特征在于：所述升降机构(3)包括多根升降杆(31)及用于驱动多根升降杆(31)升降的驱动件，所述升降杆(31)穿设于洁净腔体(2)底面及承载座(4)上。

3.根据权利要求2所述的低污染载片基座拆装装置，其特征在于：多根所述升降杆(31)沿承载座(4)圆周方向间隔布置。

4.根据权利要求2所述的低污染载片基座拆装装置，其特征在于：所述升降杆(31)与洁净腔体(2)之间设有第一密封件(5)。

5.根据权利要求4所述的低污染载片基座拆装装置，其特征在于：所述第一密封件(5)为波纹管。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的低污染载片基座拆装装置，其特征在于：所述洁净腔体(2)内设有吹扫组件。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的低污染载片基座拆装装置，其特征在于：还包括视觉定位组件，所述视觉定位组件用于对载片基座(1)进行视觉定位。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的低污染载片基座拆装装置，其特征在于：还包括旋转轴(6)，所述旋转轴(6)穿过洁净腔体(2)底面与承载座(4)连接。

9.根据权利要求8所述的低污染载片基座拆装装置，其特征在于：所述旋转轴(6)与洁净腔体(2)之间设有第二密封件(7)。

10.根据权利要求9所述的低污染载片基座拆装装置，其特征在于：所述第二密封件(7)为磁流体。