[实用新型]半导体加工终端过滤装置有效
| 申请号： | 202223179528.9 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN218980737U | 公开（公告）日： | 2023-05-09 |
| 发明（设计）人： | 凌海;徐建;陈磊;季昌明 | 申请（专利权）人： | 江阴东为资源再生技术有限公司 |
| 主分类号： | B01D35/02 | 分类号： | B01D35/02;B01D29/05;B01D29/58;B01D29/96 |
| 代理公司： | 江阴市权益专利代理事务所(普通合伙) 32443 | 代理人： | 吴丽娜 |
| 地址： | 214434 江苏省无锡市江阴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体加工终端过滤装置，所述过滤装置安装在抛光研磨液的出口管路上，包含通过卡盘（3）连接的上管（1）和下管（2）；在上管（1）和下管（2）的卡盘（3）接触面上设有环形凹陷部，在凹陷部内设置过滤布（4）和密封圈（5）；所述上管（1）和下管（2）的内孔截面积大于抛光研磨液出口管的内孔截面积。本实用新型结构简单高效，能有效过滤掉在抛光研磨液出口管内结晶团聚的大磨料颗粒，确保研磨液质量稳定，提高硅片研磨抛光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 加工 终端 过滤 装置 | ||
【主权项】：
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