[实用新型]一种用于晶圆颗粒的收料装置有效

专利信息
申请号: 202223162942.9 申请日: 2022-11-23
公开(公告)号: CN218677091U 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 苏奕翰;苏玫树;李玫媛;肖思敏 申请(专利权)人: 深圳市固得沃克电子有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 深圳市汇信知识产权代理有限公司 44477 代理人: 张志凯
地址: 518000 广东省深圳市福田区华*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种用于晶圆颗粒的收料装置,包括第一输送带、晶圆收纳盒、第二输送带和顶升机构;晶圆收纳盒设置有横向阵列布置的若干个,第二输送带上固定安装有若干个导轨,晶圆收纳盒的后侧成型有滑槽,滑槽一一对应滑动配合安装在导轨上;第一输送带设置在其中一个晶圆收纳盒的前方,第一输送带上放置有若干个晶圆颗粒,晶圆收纳盒的前侧成型有收纳槽,收纳槽内的左右两侧均成型有若干个插槽,左右两侧的插槽之间相互对称设置,晶圆颗粒一一对应间隙配合插入到两个插槽之间完成收纳;顶升机构包括气缸和顶升块,气缸设置在第一输送带的下方,气缸驱动顶升块升降移动,晶圆收纳盒的下侧成型有底板,顶升块顶住底板带动晶圆收纳盒升降移动。
搜索关键词: 一种 用于 颗粒 装置
【主权项】:
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