[实用新型]一种能效与寿命均衡型MEMS红外光源的衬底结构有效
| 申请号： | 202223073241.8 | 申请日： | 2022-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN218665411U | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 刘军林;吕全江;侯海港;刘桂武;乔冠军;郝俊操;夏松敏;陈杰 | 申请（专利权）人： | 微集电科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 合肥市泽信专利代理事务所(普通合伙) 34144 | 代理人： | 潘飞 |
| 地址： | 215124 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及红外光源领域，特别是涉及一种能效与寿命均衡型MEMS红外光源的衬底结构。该衬底结构为MEMS光源的底部支撑结构，衬底结构包括衬底和支撑层；衬底的中央包含一个上下贯穿型的通孔；支撑层位于衬底上方并与衬底形成四边固支结构，进而使得衬底下方产生一个空腔。在支撑层中，位于空腔上方的部分区域形成悬浮区，悬浮区周围的区域为与衬底直接接触的承托区；发光结构中的红外发射层位于正对支撑层中悬浮区的位置。其中，支撑层采用由不同金属层和介质层按照预设数量和顺序交替排列构成复合结构；在支撑层中，与发热电极层相邻的结构层为介质层。本实用新型可以使得MEMS红外光源在光电转换效率、产品使用寿命和制造成本等方面实现平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 能效 寿命 均衡 mems 红外 光源 衬底 结构 | ||
【主权项】：
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