[实用新型]MEMS麦克风及电子设备有效
| 申请号： | 202222891929.0 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN218772431U | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 张永华;赵聪聪;刘诗婧;张浩 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王永亮 |
| 地址： | 266101 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种MEMS麦克风及电子设备，MEMS麦克风包括基板以及设于所述基板上的MEMS芯片、ASIC芯片与第一壳体，所述第一壳体罩设于所述MEMS芯片及ASIC芯片的外周并与所述基板围合成内腔；所述基板上开设有主声孔，所述主声孔与所述MEMS芯片的背腔连通；所述第一壳体上开设有与所述内腔连通的第一次声孔，所述第一次声孔连接有延长声道，所述延长声道开设有第二次声孔，所述第一次声孔与所述第二次声孔之间通过所述延长声道连通。本实用新型实施例的一个技术效果在于通过设置延长声道，从而增大通过第一次声孔及主声孔传递至MEMS芯片的声波的相位差，有效提高MEMS麦克风的单指向性及灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 电子设备 | ||
【主权项】：
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