[实用新型]MEMS麦克风及电子设备有效
| 申请号： | 202222891929.0 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN218772431U | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 张永华;赵聪聪;刘诗婧;张浩 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王永亮 |
| 地址： | 266101 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 电子设备 | ||
1.一种MEMS麦克风，其特征在于，包括基板(1)以及设于所述基板(1)上的MEMS芯片(2)、ASIC芯片(3)与第一壳体(4)，所述第一壳体(4)罩设于所述MEMS芯片(2)及ASIC芯片(3)的外周并与所述基板(1)围合成内腔(5)；
所述基板(1)上开设有主声孔(11)，所述主声孔(11)与所述MEMS芯片(2)的背腔连通；
所述第一壳体(4)上开设有与所述内腔(5)连通的第一次声孔(41)，所述第一次声孔(41)连接有延长声道(6)，所述延长声道(6)开设有第二次声孔(7)，所述第一次声孔(41)与所述第二次声孔(7)之间通过所述延长声道(6)连通。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述延长声道(6)内部填充有多孔材料(8)。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述MEMS麦克风还包括第二壳体(9)，所述第二壳体(9)罩设于所述第一壳体(4)的外周，所述第一壳体(4)、所述第二壳体(9)及所述基板(1)围合成所述延长声道(6)。
4.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第二次声孔(7)位于所述第二壳体(9)上；或者，
所述第二次声孔(7)位于所述第二壳体(9)与所述第一壳体(4)之间的基板(1)上。
5.根据权利要求3所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一次声孔(41)设置于所述第一壳体(4)靠近所述MEMS芯片(2)的一侧，所述第二次声孔(7)设置于所述第二壳体(9)靠近所述ASIC芯片(3)的一侧。
6.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述延长声道(6)设置于所述第一壳体(4)开设有所述第一次声孔(41)的一侧。
7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述延长声道(6)为管状结构，所述第一次声孔(41)与所述第二次声孔(7)分设于所述延长声道(6)的两端。
8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于，所述第一次声孔(41)上覆盖有第一阻尼网(10)；和/或
所述第二次声孔(7)上覆盖有第二阻尼网(12)。
9.一种电子设备，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的MEMS麦克风。
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