[实用新型]一种化学气相沉积设备的导气管有效
| 申请号： | 202222833992.9 | 申请日： | 2022-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN218719465U | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 范荣;李士昌 | 申请（专利权）人： | 盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司;盛吉盛精密技术（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | F16L21/00 | 分类号： | F16L21/00 |
| 代理公司： | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人： | 胡天人 |
| 地址： | 315000*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种化学气相沉积设备的导气管，包括管径相同的首管、尾管和n根中部连接管，n为大于等于2的整数，所述首管为L型圆筒状结构，所述尾管和所述中部连接管为直圆筒状结构，各所述中部连接管头尾相连，位于首部所述中部连接管的首端与所述首管连接，位于尾部的所述中部连接管的尾端与所述尾管相连。本实用新型的技术方案将导气管分成首管、尾管和中部连接管，即将长管分成多个短管结构，可以避免高长径比的长管在钻孔过程中发生同心度偏离；且多个短管进行轴向连接，不会产生很长的连接缝隙，可以减少发生局部漏气的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 设备 气管 | ||
【主权项】：
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