[实用新型]具有高精度的用于半导体表面检测的运动装置

摘要

本实用新型提供一种具有高精度的用于半导体表面检测的运动装置，属于晶圆检测领域，该运动装置包括基台、第一运动模组、第二运动模组、第三运动模组、第四运动模组和载台。载台表面用于放置晶圆，所述载台与所述旋转件连接，所述晶圆在所述第一驱动件、第二驱动件和第四驱动件的驱动力下分别沿第一方向、第二方向和第三方向做往复运动，以及在所述第三驱动件的驱动力下做旋转运动。根据本实用新型的运动装置利用无摩擦支撑和无摩擦驱动的气浮导轨以避免因为摩擦和间隙导致的非线性扰动因素的存在，提高晶圆的运动精度与稳定性。