[实用新型]一种旋转支架及具有该支架的Mapping机构、装载设备有效
申请号: | 202222730234.4 | 申请日: | 2022-10-17 |
公开(公告)号: | CN218208719U | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 李壮 | 申请(专利权)人: | 上海大族富创得科技有限公司 |
主分类号: | F16M11/06 | 分类号: | F16M11/06;H01L21/67 |
代理公司: | 上海乐泓专利代理事务所(普通合伙) 31385 | 代理人: | 张雪 |
地址: | 201112 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种旋转支架及具有该支架的Mapping机构、装载设备,属于半导体技术领域。针对减小Mapping机构运行所需空间的问题,本实用新型提供旋转支架,包括电机,与电机的电机轴连接的转动块,转动块对称连接有两传动组件,且转动块旋转带动传动组件平移,传动组件连接有驱动组件,且传动组件平移带动驱动组件旋转,驱动组件的末端设置有安装臂,且驱动组件旋转带动安装臂旋转。本实用新型将电机的旋转转换为传动组件的平移,实现三者基本设置于同一平面,从而节省前后空间,再通过驱动组件将传动组件的平移转换为旋转,实现带动安装臂旋转,从而实现安装臂末端的Mapping传感器在初始位置和Mapping位置的转换,且安装臂的长度有限,刚性好,不易发生抖动。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 支架 具有 mapping 机构 装载 设备 | ||
【主权项】:
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