[实用新型]一种旋转支架及具有该支架的Mapping机构、装载设备

说明书

本实用新型公开了一种旋转支架及具有该支架的Mapping机构、装载设备，属于半导体技术领域。针对减小Mapping机构运行所需空间的问题，本实用新型提供旋转支架，包括电机，与电机的电机轴连接的转动块，转动块对称连接有两传动组件，且转动块旋转带动传动组件平移，传动组件连接有驱动组件，且传动组件平移带动驱动组件旋转，驱动组件的末端设置有安装臂，且驱动组件旋转带动安装臂旋转。本实用新型将电机的旋转转换为传动组件的平移，实现三者基本设置于同一平面，从而节省前后空间，再通过驱动组件将传动组件的平移转换为旋转，实现带动安装臂旋转，从而实现安装臂末端的Mapping传感器在初始位置和Mapping位置的转换，且安装臂的长度有限，刚性好，不易发生抖动。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种旋转支架及具有该支架的Mapping机构、装载设备。

背景技术

目前在半导体行业内，晶圆盒的装载设备(Loadpord)基本都包含有Mapping功能，通过一对传感器检测晶圆盒内晶圆的位置信息等，以上功能的实现通过在开合机构的开合门上安装Mapping机构实现。由于开合门需要与晶圆盒门贴合以进行开关操作，因此安装传感器的支架需要在工作过程中可实现前、后两个不同的工作位置的转换。现有技术中，一般是通过传感器直接前后移动实现。例如，公开日为2017-12-5，公开号为CN206711879U的中国专利申请公开了一种全封闭式SMIF系统，检测部包含：Mapping单元和Mapping驱动单元44。Mapping单元滑动安装在升降架22上，能够朝向和远离安装板11移动。Mapping单元包含：支架和Mapping传感器43。支架滑动安装在升降架22上，支架包含：四边形的框421和滑动块422。滑动块422固定在框421的一边上且滑动安装在升降架22上。Mapping传感器43安装在框421上与滑动块422相对的另一边，与控制部80相连接，Mapping传感器43用于检测容器60中晶圆的位置和数量。在本实施例中，升降架22上安装有第三导轨41，第三导轨41垂直于安装板11，滑动块422滑动安装在第三导轨41上，Mapping传感器43的数量为两个。该方案的不足之处在于：四边形的框421较长，执行端和驱动端距离太远，导致整个支架刚性差，容易导致传感器在工作过程中发生抖动，从而导致检测结果出现错误。

针对上述问题现有技术中也有相应改进，如公开日为2020-6-2，公开号为CN210668299U的中国专利申请公开了安装机构包括：轴承座组件，包括轴承座板和设于轴承座板下的直线滑轨以及一对安装孔；推板，推板设有沿其长度方向延伸并朝向其宽度方向倾斜的斜槽；驱动机构，驱动机构与推板连接；滑块，固设有第一连接轴并安装在斜槽中，滑块与直线滑轨滑动连接，滑块上设有一对长槽孔；一对驱动转臂组件，包括驱动转臂，驱动转臂设有转动端和安装端，转动端固设有第二连接轴，驱动转臂通过对应的第二连接轴安装在滑块的长槽孔中；一对转轴组件；一对安装转臂，安装转臂与转轴组件连接并用于安装传感器。该方案的不足之处在于：支架为实现旋转需要首先进行左右以及前后的移动，运动方向多，容易产生误差，同时由于需要产生前后移动，导致空间需求大。

因此，针对上述问题，有必要提出进一步地解决方案，以至少解决其中一个问题。

实用新型内容

为了解决相关的减小Mapping机构运行所需空间的问题，本实用新型提供一种旋转支架及具有该支架的Mapping机构、装载设备。所述技术方案是：

一种旋转支架，包括电机，与所述电机的电机轴连接的转动块，所述转动块对称连接有两传动组件，且所述转动块旋转带动所述传动组件平移，所述传动组件连接有驱动组件，且所述传动组件平移带动所述驱动组件旋转，所述驱动组件的末端设置有安装臂，且所述驱动组件旋转带动所述安装臂旋转。

本实用新型的一个较佳实施例中，所述传动组件包括连杆，所述连杆的一端与所述转动块转动连接，另一端转动连接有连接板，所述连接板连接有滑块，所述滑块滑动连接于滑轨上。