[实用新型]13.56MHz产生电感耦合等离子体有效

专利信息
申请号: 202222650848.1 申请日: 2022-10-08
公开(公告)号: CN218783928U 公开(公告)日: 2023-03-31
发明(设计)人: 陈敏;项亮 申请(专利权)人: 常州瑞思杰尔电子科技有限公司
主分类号: H05H1/36 分类号: H05H1/36
代理公司: 常州市华信天成专利代理事务所(普通合伙) 32294 代理人: 何学成
地址: 213000 江苏省常州市新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及检测技术领域,尤其涉及13.56MHz产生电感耦合等离子体,包括负载线圈、匹配器,所述负载线圈位于所述匹配器的内部,其中,所述匹配器的射频信号输入接口RF IN连接有电容C1,所述电容C1的一端与接地端GND连接,所述电容C1的另一端连接有电容C2,所述电容C2的一端连接在所述匹配器的射频信号输出端口RF OUT上。通过增加负载线圈的匝数,去除匹配器内部的电感,从而减少了匹配器在使用时的损耗,增加了匹配器输出时的射频电流,使其在负载端产生稳定的等离子体焰矩,从而经过重新设计的负载线圈与匹配器,从而满足了辉光要求,通过调整可调电容C1与电容C2容量的大小,达到了匹配电感线圈的效果,从而可以实现电路的共振。
搜索关键词: 13.56 mhz 产生 电感 耦合 等离子体
【主权项】:
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  • 本实用新型公开了一种等离子体点火整流电源系统,属于等离子体点火电源领域,该整流电源系统主要包括三相半控桥、交流接触器、直流调速器、PLC控制单元和直流输出接口。三相半控桥将三相交流电经交流接触器接入到直流调速器,直流调速器在PLC控制单元的信号控制下将三相交流电整流调整为稳定的两相直流电,再经直流输出接口输出。本实用新型通过简化电源系统,优选直流调速器、微电子及功率器件,大大提升了电源系统的动态响应速率,减少了电源系统的信号干扰,提高了输出电流的稳定性,保证了等离子体点火过程正常、稳定运行;电源系统的功能块一体化设计,方便了设备的检修维护、备件更换,提升了等离子发生器的工作效率,降低了使用成本。
  • 一种实用的大功率低温等离子电源-201720644073.3
  • 赵同强;王升;许刚强;胡天航 - 武汉复卿环保科技有限公司
  • 2017-06-06 - 2018-01-12 - H05H1/36
  • 本实用新型提供一种实用的大功率低温等离子电源,市电输入电路输入的电流依次经过三相滤波组件、整流滤波电路、功率变换电路、LC谐振网络以及升压变压器变换后分别引出高压电极和低压电极,在所述升压变压器的输出端还并联连接有交流高压采样电路和交流电流采样电路,交流高压采样电路和交流电流采样电路将采集到的信号分别输送到报警电路、反馈控制电路以及显示电路,反馈控制电路连接功率调节电路,功率调节电路连接功率驱动电路,功率驱动电路连接到功率变换电路形成等离子电源的输出控制闭环,实时进行交流高压采样和交流电流采样并设置显示电路,增加调试的直观性,减少调试的工作量,提高生产及现场维护的时效。
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