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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]等离子体控制系统以及计算机可读存储介质-CN201980020153.3有效
  • 岩苔翼 - 日新电机株式会社
  • 2019-03-15 - 2023-03-28 - H05H1/46
  • 本发明提供一种等离子体控制系统以及计算机可读存储介质，等离子体控制系统包括：高频电源；第一天线，一端部与高频电源连接；第二天线，一端部与第一天线的另一端部连接；第一电抗可变元件，设置于第一天线与第二天线之间；第一电抗可变元件的第一驱动部；第二电抗可变元件，与第二天线的另一端部连接；第二电抗可变元件的第二驱动部；第一电流检测部，检测第二电抗可变元件的第二驱动部、以及第一天线的一端部的电流；第二电流检测部，检测第一天线与第二天线之间流动的电流；第三电流检测部，检测第二天线的另一端部的电流；以及控制装置，控制第一驱动部及第二驱动部。
  • 等离子体控制系统以及计算机可读存储介质
  • [发明专利]等离子体控制系统及等离子体控制程序-CN202080050164.9在审
  • 岩苔翼;岸田茂明 - 日新电机株式会社
  • 2020-07-10 - 2022-02-22 - H05H1/36
  • 本发明提供一种等离子体控制系统，可使用长条状的天线来应对基板的大型化，并沿着天线的长边方向产生均匀的等离子体。本发明包括：高频电源4；天线组3x，具有连接于高频电源4的多个天线3；多个电抗可变元件VC，连接于多个天线3的供电侧以及接地侧；电流检测机构Sx，检测在多个天线3的供电侧及接地侧流动的电流；均匀性算出部X1，基于由电流检测机构Sx检测出的电流值，算出在多个天线3中流过的电流的均匀性指标值；以及电抗变更部X2，依次变更多个电抗可变元件VC的电抗，以使由均匀性算出部X1算出的均匀性指标值接近规定的设定值。
  • 等离子体控制系统控制程序
  • [发明专利]基板加热系统以及基板处理装置-CN201880091398.0在审
  • 岩苔翼;柳井佑美 - 日新电机株式会社
  • 2018-03-19 - 2020-11-03 - H01L21/02
  • 本发明降低顶板与加热器的热膨胀的偏差以防止加热器的破损，包括：顶板2，载置基板W；加热器3，被设在顶板2的下表面；板温度检测部4，检测顶板2的温度；加热器温度检测部5，检测加热器3的温度；以及加热器控制部6，基于加热器3的检测温度与顶板2的检测温度来控制加热器3的输出，加热器控制部6控制加热器3的输出，以使加热器3的检测温度与顶板2的检测温度的检测温差不超过规定的温差上限值，且进行控制，以使顶板2的检测温度成为规定的设定温度。
  • 加热系统以及处理装置
  •  1 
  • 共 3 条
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