[发明专利]远距离单阳极等离子炬高频高压引弧电源及引弧方法在审
| 申请号： | 201910410420.X | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110022638A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 陈兵;司志国;翟冰;李金泽 | 申请（专利权）人： | 山东博润工业技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/36 | 分类号： | H05H1/36;H02M5/04;H02M5/12 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 张洪艳;马俊荣 |
| 地址： | 255086 山东省淄*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及环保技术领域，具体涉及一种远距离单阳极等离子炬高频高压引弧电源及引弧方法，该电源包括隔离变压器TB1，隔离变压器TB1一次侧通过交流接触器KM1连接380V交流电，隔离变压器TB2二次侧依次通过一、二级滤波器连接至升压变压器TB2的一次侧，升压变压器TB2的二次侧连接高频谐振电路，高频谐振电路一个输出端子通过等离子炬引弧电路连接至等离子炬阳极，另一个端子通过等离子炬引弧电路连接至等离子炬阴极，直流电源正极接等离子炬阳极，直流电源负极通过高压交流接触器KM2连接至等离子矩阴极，交流接触器KM1、KM2均通过PLC控制。本发明运行稳定、可靠，自动化程度高，引弧成功率100％。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子炬 次侧 隔离变压器 引弧 阴极 等离子炬阳极 高频高压引弧 高频谐振电路 交流接触器 升压变压器 电源 引弧电路 单阳极 远距离 交流电 环保技术领域 直流电源负极 直流电源正极 二级滤波器 高压交流 输出端子 运行稳定 等离子 接触器 成功率 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种远距离单阳极等离子炬高频高压引弧电源，其特征在于，包括隔离变压器TB1、一级滤波器、二级滤波器、升压变压器TB2、高频谐振电路和等离子炬引弧电路，隔离变压器TB1一次侧通过交流接触器KM1连接380V交流电，隔离变压器TB1二次侧依次通过一级滤波器和二级滤波器连接至升压变压器TB2的一次侧，所述升压变压器TB2的二次侧连接高频谐振电路，高频谐振电路两个输出端子中的一个通过等离子炬引弧电路连接至等离子炬阳极，高频谐振电路两个输出端子中的另一个通过等离子炬引弧电路连接至等离子炬阴极，直流电源正极接等离子炬阳极，直流电源负极通过高压交流接触器KM2连接至等离子矩阴极，交流接触器KM1、KM2均通过PLC控制，PLC输入端还连接引弧启动按钮QD、引弧停止按钮TZ、等离子电源电流检测件、等离子电源电压检测件，高频谐振电路和等离子炬引弧电路相对于等离子炬就近设置。
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- 河藤荣三 - 株式会社岛津制作所
- 2010-09-22 - 2013-07-24 - H05H1/36
- 本发明提供一种高频电源装置，用以向阻抗大幅变化的负载供应高频电力，不在驱动电路中产生过电流或过电压，而可始终维持稳定的高频电流。将定电流转换电路连接在感应-电容-电阻（LCR）串联谐振电路与半桥驱动电路之间，利用半桥驱动电路的电压来控制感应-电容-电阻串联谐振电路的高频电流，以便相对于负载的阻抗变动进行定电流动作。通过定电流转换电路的作用，在插入在感应-电容-电阻（LCR）串联谐振电路中的变压器使用并联电容器来对半桥驱动电路的金属氧化物半导体场效应晶体管（MOSFET）的门极进行驱动，将感应-电容-电阻串联谐振电路的高频电流与半桥驱动电路的输出的相位保持于固定。
- 控制离子能量分布的系统、方法和装置-201180046783.1
- V·布劳克;R·赫克曼;D·J·霍夫曼 - 先进能源工业公司
- 2011-08-11 - 2013-06-12 - H05H1/36
- 本发明公开了等离子室内的用于调节离子能量的系统、方法和装置。示例性方法包括：在等离子体室内放置衬底；在所述等离子体室内形成等离子体；对所述衬底可控地开关电能，以便向所述衬底施加周期电压函数；以及在所述周期电压函数的多个周期期间，响应于所述衬底的表面的期望离子能量分布来调制所述周期电压函数，以便在时间平均的基础上实现所述期望离子能量分布。
- 一种用于触发两间隙等离子体喷射装置的电路-201210451787.4
- 杨兰均;黄东 - 西安交通大学
- 2012-11-12 - 2013-02-20 - H05H1/36
- 本发明公开了一种用于触发两间隙等离子体喷射装置的电路，包括预电离电路和主放电电路，预电离电路对两间隙等离子体喷射装置的短间隙通道进行预电离，随后主放电电路对短间隙通道放电，形成等离子体的喷射，使两间隙等离子体喷射装置的长间隙通道相继闪络击穿，产生贯穿间隙等离子体喷射装置的闪络通道的长电弧。预电离电路在放电前期对短间隙通道预电离，从而大大地降低了主放电电容器充电电压，可低至1～3kV，增加了整个放电电路的安全性与可靠性。
- 用于产生成束的等离子体束的方法和射束发生器-201080014809.X
- 米夏埃尔·比斯格斯;乌韦·哈特曼;霍尔格·施耐德赖特 - 莱茵豪森等离子有限公司
- 2010-03-24 - 2012-03-14 - H05H1/36
- 本发明涉及一种用于在流动的工作气体中通过在两个彼此相距地布置在工作气体流内的电极之间的电弧放电而产生等离子体束的方法和装置，其中，产生带有脉冲频率和用于电弧放电的点火电压的电压脉冲序列，该电压脉冲序列分别在两个依次的电压脉冲之间使电弧熄灭。
- 用于等离子体腔室电极的RF总线与RF回流总线-201080014186.6
- 卡尔·A·索伦森;乔瑟夫·库德拉;罗宾·L·泰内;苏希尔·安瓦尔 - 应用材料公司
- 2010-02-13 - 2012-02-29 - H05H1/36
- 为了将RF功率从等离子体腔室的RF输入(40)耦合至等离子体腔室的内部(11)，将RF总线导体(43、44)连接在所述RF输入与等离子体腔室电极(20至26)之间。在一实施例中，RF回流总线导体(53、54)连接至所述腔室的电接地壁(14至18)，且所述RF总线导体与所述RF回流总线导体具有各自的表面，所述各自的表面平行且面对彼此。在另一实施例中，所述RF总线导体具有横剖面，所述横截面具有定向为垂直于所述等离子体腔室电极的表面的最长尺度，所述表面是所述等离子体腔室电极的最接近所述RF总线导体的表面。
- 在等离子体处理系统中控制离子能量分布-200980150484.5
- 安德里亚斯·费舍尔;艾利克·哈德森 - 朗姆研究公司
- 2009-12-16 - 2011-11-23 - H05H1/36
- 用等离子体处理至少衬底的等离子体处理系统。等离子体处理室能够控制离子能量分布。所述等离子体处理系统可包括第一电极。所述等离子体处理系统还可包括不同于所述第一电极、配置为支承所述衬底的第二电极。所述等离子体处理系统还可包括与所述第一电极耦合的信号源。在所述等离子体处理系统中处理所述衬底时，所述信号源可通过所述第一电极提供非正弦信号以控制所述衬底上的离子能量分布，其中所述非正弦信号为周期性的。
- 专利分类
