[实用新型]一种晶圆测试用定倍镜头对准装置有效
| 申请号： | 202222256952.2 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN217846751U | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 张杰 | 申请（专利权）人： | 北京柯泰光芯半导体装备技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;H01L21/68;H01L21/66 |
| 代理公司： | 天津市鼎拓知识产权代理有限公司 12233 | 代理人： | 陈盼盼 |
| 地址： | 100010 北京市顺义*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供一种晶圆测试用定倍镜头对准装置，包括基板和滑板；基板上固定安装有摄像组件，用于对晶圆进行拍摄；滑板可滑动安装在基板上，且对应摄像组件设有转向组件；转向组件固定安装在滑板上，用于改变拍摄方向；摄像组件与转向组件之间通过镜头固定块连接；镜头固定块安装在滑板上，内部设有贯穿孔，与摄像组件之间可相对滑动。根据本申请实施例提供的技术方案，通过将摄像组件和转向组件分别安装在基板和滑板上，配合滑板与基板之间的滑动安装结构，便可确保摄像组件在位置不变的情况下，转向组件依然能够与晶圆进行找正对齐。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 用定倍 镜头 对准 装置 | ||
【主权项】：
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