[实用新型]一种晶圆测试用定倍镜头对准装置

权利要求书

1.一种晶圆测试用定倍镜头对准装置，其特征在于，包括基板(100)和滑板(200)；

所述基板(100)上固定安装有摄像组件，用于对晶圆进行拍摄；

所述滑板(200)可滑动安装在所述基板(100)上，且对应所述摄像组件设有转向组件；所述转向组件固定安装在所述滑板(200)上，用于改变拍摄方向；

所述摄像组件与转向组件之间通过镜头固定块(210)连接；所述镜头固定块(210)安装在所述滑板(200)上，内部设有贯穿孔，与所述摄像组件之间可相对滑动。

2.根据权利要求1所述的晶圆测试用定倍镜头对准装置，其特征在于，所述摄像组件包括相机(110)和镜头(120)；所述相机(110)固定安装在所述基板(100)上；所述镜头(120)一端固定安装在所述相机(110)上，一端可伸缩安装在所述镜头固定块(210)上。

3.根据权利要求2所述的晶圆测试用定倍镜头对准装置，其特征在于，所述滑板(200)的一端对应所述镜头(120)设有匹配的开口槽，底部对应所述基板(100)设有匹配的滑槽；所述基板(100)通过第一螺栓(130)与所述滑板(200)连接，底面与所述滑板(200)的底面位于同一平面。

4.根据权利要求3所述的晶圆测试用定倍镜头对准装置，其特征在于，所述滑板(200)上对应所述第一螺栓(130)设有阶梯条孔(220)；所述阶梯条孔(220)分别位于所述开口槽的两侧，且分别与所述开口槽的开口方向平行。

5.根据权利要求1所述的晶圆测试用定倍镜头对准装置，其特征在于，所述转向组件包括棱镜(230)和环彩灯(240)；所述棱镜(230)固定安装在所述滑板(200)上，与所述镜头固定块(210)对接；所述环彩灯(240)固定安装在所述滑板(200)的底部；所述滑板(200)位于所述棱镜(230)与环彩灯(240)之间设有相应的通孔。

6.根据权利要求5所述的晶圆测试用定倍镜头对准装置，其特征在于，所述环彩灯(240)上还安装有导线(241)；所述滑板(200)的底部对应所述导线(241)设有导线槽(250)；所述导线槽(250)位于所述基板(100)的一侧，且与所述基板(100)的滑动方向平行。

7.根据权利要求1所述的晶圆测试用定倍镜头对准装置，其特征在于，所述滑板(200)的四角处还分别设有第二螺纹孔(201)；所述第二螺纹孔(201)内分别安装有匹配的第二螺栓，用于调整所述转向组件的拍摄角度。