[实用新型]一种用于半导体材料加工的切割装置有效
申请号: | 202222099757.3 | 申请日: | 2022-08-10 |
公开(公告)号: | CN218576630U | 公开(公告)日: | 2023-03-07 |
发明(设计)人: | 詹玉峰;陈跃华;方勇华;方小明;赵纪平;刘小祥;方萌 | 申请(专利权)人: | 浙江旭盛电子有限公司 |
主分类号: | B28D1/04 | 分类号: | B28D1/04;B28D7/00;B28D7/04 |
代理公司: | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人: | 姜青松 |
地址: | 324300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于半导体材料加工的切割装置,包括底座和滑动板,所述底座的一端安装有固定板,且固定板的顶部安装有顶板,所述固定板靠近底座一端的顶部安装有第三滑动组件,且第三滑动组件远离固定板的一端滑动安装有升降板,所述顶板的顶部安装有第三电动气压缸。本实用新型安装有尺条、齿轮、第一转轴和伺服电机,使用时,伺服电机通过第一转轴带动齿轮转动,齿轮通过尺条带动滑动板移动,即可将切割齿片移动至指定的切割位置处,调节过程中,伺服电机的转速均匀,使得切割齿片能够匀速移动,有利于对切割齿片的位置进行精确调节,从而可有效提高装置的切割精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体材料 加工 切割 装置 | ||
【主权项】:
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